Wśród dostępnych komponentów do systemów próżniowych można znaleźć szeroki wybór komór załadowczych próbek, które mogą być zastosowane w systemach osadzania w celu zapewnienia czystego transferu próbki jednocześnie pozostawiając komorę główną w stanie próżni. Systemy przenoszenia próbek są wykonywane na zamówienie i mogą:
- Być odpowiednie dla próbek od 1” do 6”
- Zapewniać wstępną obróbkę próbek
- Zawierać port dla turbo pompy
- Możliwość wygrzewania za pomocą podczerwieni
- Być wyposażone w wizjer
- Umożliwiać pomiar ciśnienia
- Zawierać dwa liniowe przenośniki