Komory załadowcze próbek


LOAD LOCK CHAMBER

Wśród dostępnych komponentów do systemów próżniowych można znaleźć szeroki wybór komór załadowczych próbek, które mogą być zastosowane w systemach osadzania w celu zapewnienia czystego transferu próbki jednocześnie pozostawiając komorę główną w stanie próżni.  Systemy przenoszenia próbek są wykonywane na zamówienie i mogą:

 

  • Być odpowiednie dla próbek od 1” do 6”
  • Zapewniać wstępną obróbkę próbek
  • Zawierać port dla turbo pompy
  • Możliwość wygrzewania za pomocą podczerwieni
  • Być wyposażone w wizjer
  • Umożliwiać pomiar ciśnienia
  • Zawierać dwa liniowe przenośniki

 

więcej…