Parowniki, źródła, krakery, komórki


Komponenty próżniowe 

Komponenty służące do depozycji cienkich warstw są sercem systemów depozycyjnych i stanowią podstawę zainteresowań naukowców i inżynierów firmy MANTIS. Zakres komponentów UHV wypełnia zapotrzebowanie róznych technik depozycyjnych począwszy od semi przemysłowych do sub monowarstwowych.

 

 

PAROWNIKI  – Seria EV 

KOMPONENTY PROZNIOWEMini elektronowe parowniki są stosowane wszędzie tam, gdzie wymagana jest dokładna kontrola szybkości parowania przy małych strumieniach i minimalizacja zanieczyszczeń strumienia par. Stosowane szczególnie w przypadkach bardzo wymagających zastosowań np. badaniach powierzchni lub domieszkowania. Konstrukcja  parowników zapewnia maksymalną kontrolę parowania i minimalizację zanieczyszczeń (więcej).

 

 

MATS60_shadowŹRÓDŁA PLAZMOWE – Seria MATS 

Atomowe źródła RF są wykorzystywane z dużym sukcesem  w wielu aplikacjach np. wzrostu warstw półprzewodnikowych takich jak GaN, GaInNAs, ultra-cienkie Al2O3, przy wytwarzaniu dielektryków o wysokim K  oraz znajdują zastosowanie w zakresie np. wytwarzanie warstw do zapisu danych, warstw o własnościach katalitycznych czy też służą do czyszczenia za pomocą wodoru atomowego(więcej).

 

MGC_shadowTERMICZNE KRAKERY GAZOWE – Seria MGC 

Termiczne krakery gazowe służą do dysocjacji molekuł gazów, przeważnie wodoru do formy atomowej przez co zwiększona zostaje reaktywność gazu o wiele rzędów. W porównaniu do atomowych źródeł plazmowych (jak np. seria MATS)  krakery nie mają wymaganego minimalnego przepływu gazu przez co znajdują zastosowanie w aplikacjach wymagających małych przepływów jak np. w badaniach powierzchni (więcej).

 

NANOGEN_shadowŹRÓDŁA NANOCZĄSTEK – Seria NANOGEN 

Urządzenia do depozycji i charakteryzacji nanocząstek zapewniają precyzyjną wiązkę nanocząstek generowanych z prawie wszystkich materiałów czystych lub stopowych. Dodatkowo, generacja reaktywnych cząstek umożliwia osadzanie nanoklastrów podlegających azotowaniu lub utlenianiu. Możliwe jest dostosowanie komponentów do istniejących komór próżniowych lub dostawa kompletnych systemów służących do wzrostu warstw nanocząsteczkowych (więcej).

 

 

 

komponenty-1KOMPONENTY SYSTEMOWE

Mantis Deposition produkuje serię różnorodnych komponentów systemowych takich jak stoliki do substratów i komory załadowcze, które mogą być dostosowane również do już istniejących systemów próżniowych (więcej).

 

 

 

 

 

Inne produkty firmy Mantis Deposition LTD. można znaleźć tutaj.

Mantis_logo

 

 

RFMAX_shadow

ŹRÓDŁA JONOWE – Seria RFMAX 

Wiązki przyspieszonych jonów używane są między innymi do modyfikacji i erozji powierzchni w warunkach próżniowych. Poprzez dokładny dobór energii i składu wiązki jonowej możliwe jest kontrolowane zagęszczanie cienkich warstw lub modyfikacja składu chemicznego warstwy. Możliwe jest wykorzystanie wiązki jonowej do erozji warstw powierzchniowych (np. ścienienie) lub rozpylanie materiału tarczy w celu jego depozycji na substracie (więcej).

 

                                                                 

CUSP_shadowŹRÓDŁA ROZPYLANIA JONOWEGO – Seria CUSP 

Seria magnetronowych źródeł rozpylania jonowego zaprojektowana dla systemów nanoszenia warstw na duże powierzchnie i z dużą szybkością. Wszystkie źródła są standardowo wyposażone w zasilanie gazów zapewniające wysokie lokalne ciśnienie ponad targetem co umożliwia pracę przy stosunkowo niskich ciśnieniach w komorze próżniowej. Magnesy nie są umieszczone w obszarze wody chłodzącej przez co nie występuje problem związany z ich korozją (więcej).

 

                                          

                         

COMCELL  K – KOMÓRKI – Seria COMCELL 

Komórki efuzyjne serii Mantis Comcell są zaprojektowane do zastosowań o wysokiej czystości i wysokiej precyzji parowania materiałów w systemach MBE lub zastosowaniach hybrydowych UHV. Źródła z serii COMCELL są używane w barawczych systemach osadzania do przygotowania próbki, wzrostu cienkich powłok i zastosowaniach MBE(więcej).

 

TBS_shadow

ŹRÓDŁA PARWONIKÓW TERMICZNYCH – Seria TBS 

Źródła termiczne TBS-2-800 są zaprojektowane do nanoszenia cienkich warstw metalicznych.  Parowniki TBS (Thermal Boat Sources) są również używane do różnych powłok optycznych, m.in: refleksyjnych, antyrefleksyjnych, twardych warstw, lub kolorów (więcej).

 

                                                               

 

ORMAParowniki ORMA i ORCA – nanoszenie materiałów organicznych

Parowniki ORMA i ORCA są nowym rozwiązaniem oferującym wysoką kontrolę podczas nanoszenia materiałów organicznych. Niezależnie od tego czy wymagane jest jedno źródło o dużej pojemności (ORCA), czy też sześć źródeł o małych pojemnościach (ORMA), to oba te rozwiązania oferują precyzyjną regulację termiczną podczas procesu naparowywania (więcej).