System nanoszenia cienkich warstw współpracujący z komorami rękawicowymi


naparowywarka_measline

Laboratoryjny przyrząd do nanoszenia warstw  LPNW01 – nabiurkowe urządzenie do nanoszenia (naparowywania) cienkich warstw przystosowane do współpracy z komorami rękawicowymi.

Szeroki zakres stosowalności

LPNW01 został zaprojektowany przez firmę MeasLine z myślą o wytwarzaniu cienkich warstw w warunkach wysokiej lub ultra-wysokiej próżni. Przemyślana konstrukcja, wysoka jakość wykonania i starannie dobrane komponenty zapewniają łatwą integrację z komorami rękawicowymi prawie dowolnego typu. Zarówno wprowadzenie próbek jak i ich wyjęcie może być dokonane w warunkach kontrolowanej atmosfery komory rękawicowej.

Zastosowania:
• Próżniowe nanoszenie cienkich warstw metalicznych i dielektrycznych
• Ultra-cienkie powłoki metaliczne

Wysoka wydajność oraz możliwość wprowadzania i wyjmowania próbek w kontrolowanej atmosferze komory rękawicowej.

Próbki lub podłoża  o rozmiarach 75x75mm lub średnicy 3″ można załadować do przenośnej komory w warunkach kontrolowanej atmosfery komory rękawicowej. Również wyjęcie próbek po procesie nanoszenia warstw można zrealizować w komorze rękawicowej. Próbka ładowana jest do przenośnej komory szczelnej próżniowo pod ciśnieniem panującym w komorze rękawicowej. Sam przyrząd LPNW01 można umieścić w pomieszczeniu o czystości typowo laboratoryjnej a mimo to próbki będą poddawane procesom tak jakby urządzenie LPNW01 znajdowało się w pomieszczeniu o klasie czystości komory rękawicowej i na dodatek w atmosferze gazu obojętnego chemicznie.  Próbka umieszczona w komorze przenośnej zamykana jest szczelnie a następnie wyjmowana z komory rękawicowej i mocowana do komory załadowczej LPNW01. Po wstępnym odpompowaniu  komory załadowczej otwierane są drzwi komory przenośnej i układ czeka na uzyskanie próżni wymaganej do przetransferowania próbki do komory nanoszenia cienkich warstw. Po sygnale informującym o gotowości próżniowej do przetransferowania próbki osoba obsługująca może otworzyć zawór łączący komorę załadowczą z komorą nanoszenia warstw i przeniesienia  nośnika próbek wraz z próbką do komory nanoszenia warstw.  Przeniesienie możliwe jest za pomocą transferu liniowego w warunkach wysokiej próżni. Możliwe jest nanoszenie cienkich warstw poprzez naparowanie materiału  z tygli grzanych oporowo lub techniką magnetronową.  

Główne cechy:
• Zautomatyzowany system sterowania pomp
• Wygodna obserwacja próbki
• Komfortowy dostęp do komory nanoszenia cienkich warstw
• Niski poziom hałasu
• Stabilna i solidna konstrukcja
• Transfer próbki bez zapowietrzania komory nanoszenia cienkich warstw
• Łatwy dostęp do gniazd i przycisków

Przemyślana konstrukcja i zwiększona kontrola procesu

Przyrząd LPNW01 zamocowany jest na stelażu przystosowanym do posadowienia na biurku. Możliwa jest również realizacja urządzenia na stelażu posadowionym bezpośrednio na podłodze. Stelaż nabiurkowy przystosowany jest do zamocowania urządzenia sterującego pracą pomp jak i układów nanoszenia oraz pomiaru grubości warstw. Pomiar grubości nanoszonych warstw zrealizowany jest za pomocą wagi kwarcowej. Istnieje możliwość automatyzacji procesu poprzez kontrolę pracy dwóch źródeł nanoszenia warstw oraz przesłon w funkcji grubości warstw.  Dodatkowe wyposażenie stanowi układ obrotu podłoża w trakcie nanoszenia warstw oraz układ wygrzewania podłoża. Przyrząd może być użytkowany z komorą rękawicową jak i bez niej. W obu przypadkach uzyskuje się znaczne zwiększenie wydajności i czystości warstw w porównaniu z komorami, które muszą być zapowietrzane przy każdym załadowaniu próbek lub podłoży.

Widok przekroju komory załadowczej wraz z komorą przenośną

430 13 00 1_0.285

Widok komory przenośnej z otwartymi drzwiczkami