NANOSYS500


 

NANOSYS500system zaprojektowany do pracy w warunkach ultra wysokiej próżni, oferuje rozwiązania pozwalające użytkownikowi na wykorzystanie pełnego potencjału technik nanoszenia powłok nanocząsteczkowych. Komora główna ma konstrukcję sferyczną, zaprojektowaną w taki sposób, że osie wszystkich portów przechodzą przez jej środek. Zastosowanie spawów wewnętrznych i wypolerowanie komory pozwoliło na zminimalizowanie efektu odgazowywania. NANOSYS500 został wyposażony w liczne porty przeznaczone na komponenty służące do nanoszenia powłok ( cienkich warstw ). Porty te zostały rozmieszczone w taki sposób, aby umożliwić zamocowanie podzespołów umożliwiających odparowanie materiału z tygli (np. komórki efuzyjne).

Istnieje również opcja wyposażenia komory w usuwalną osłonę zapobiegającą zanieczyszczaniom w przypadkach w których jest wymagana wysoka szybkość depozycji.

System wykorzystuje pompy turbo z suchymi pompami wstępnymi, co pozwala osiągnąć ciśnienie na poziomie 10-10 mBara (po wygrzewaniu komory). Na życzenie klienta można zastosować alternatywny system pompowy.

Zastosowania

  • Cienkowarstwowe ogniwa słoneczne

  • Fotowoltaika o wysokiej sprawności

  • Sensory gazowe

  • Półprzewodniki

  • Powłoki organiczne

  • Powłoki antybakteryjne

Stolik na próbki

Stolik na próbki przystosowany jest do próbek o średnicy 2″ lub kilku mniejszych. Można go również dostosować do konfiguracji niestandardowych.

Opcje

  • Zmienna szybkość obrotu próbki (2-20rpm)

  • Polaryzacja stołu na próbki: DC/RF

  • Podgrzewanie próbek do 800°C

  • Wychładzanie próbek

  • Przesunięcie w osi Z do 100mm

Uchwyt próbek wykonany jest z materiałów ogniotrwałych.

więcej…

Mantis_logo

Informacje o produkcie:

Adobe icon Broszura produktu

▬ Inne produkty firmy Mantis Deposition LTD. można znaleźć tutaj

Ładowanie próbki

W podstawowej wersji systemu ładowanie próbki odbywa się przez drzwi szybkiego dostępu (z o-ringiem). Do procesów przeprowadzanych w warunkach w ultra wysokiej próżni należy zastosować komorę załadowczą. Przenoszenie próbek odbywa się za pomocą specjalnego liniowego/obrotowego ramienia transferowego. Opcjonalnie można również zastosować karuzelę z uchwytami na nośniki próbek. Rozwiązanie takie umożliwia wprowadzenie wielu próbek do komory załadowczej.

NANOSYS500 - ladowanie probki

Komponenty

  • Źródła nanocząsteczek
  • Źródła E-beam
  • Źródła jonowe
  • RF Źródła atomowe

Więcej informacji o dostępnych komponentach można znaleźć tutaj.