FLATSCAN – Bezkontaktowe pomiary powierzchni


FLATSCAN – Bezkontaktowe, zautomatyzowane pomiary 2D i 3D wypaczeń, łuków, nachyleń i krzywizny powierzchni przy pomocy pomiarów optycznych naprężeń cienkich błon.

Flatscan2

Technika pomiarów optycznych kształtu powierzchni

FLATSCAN służy do wykonywania bezkontaktowych pomiarów płaskości, falistości, średniego promienia krzywizny i naprężeń wszelkich odbijających powierzchni takich jak płatki, lustra, lustra dla fal gamma (lustra Goebel’a), powierzchnie metaliczne czy polerowane polimery. Pomiary optyczne zapewniają wysoką dokładność pomiarów. Zasada działania pomiaru opiera się o pomiar kąta odbicia pojedynczej wiązki lasera padającej prostopadle na badaną powierzchnię. Na podstawie zmian tego kąta można precyzyjnie odtworzyć kształt badanej powierzchni. W niektórych zastosowaniach użytkownika może interesować sam kąt odbicia. Oferowane urządzenie posiada zatem dodatkową opcję bezpośredniego pomiaru tego kąta.

Dla zastosowań w technologii półprzewodników parametry napylonej warstwy mogą zostać uzyskane dzięki porównaniu pomiarów przed i po napylaniu.

Szeroki zakres pomiarowy

Szczególną opcją techniki pomiarów optycznych jest ich niezależność od rozmiarów badanej powierzchni. Dzięki temu mimo, że urządzenie zostało zaprojektowane do badania powierzchni o średnicy 200mm, jej rozmiar może być zwiększany niemal bez ograniczeń.

 

FLATSCAN – Prezentacja wideo

Szeroki zakres pomiarowy i bezpieczna odległość próbka-aparatura

Zakres pomiarowy to maksymalna wysokość strzałki (lub najmniejszy mierzalny promień krzywizny), który może być zmierzony w trakcie jednego skanu. FLATSCAN oferuje ekstremalnie szeroki zakres pomiarowy, znacznie przewyższający osiągi konkurencyjnych metod, np. interferometrycznych. Dzięki temu FLATSCAN doskonale nadaje się do badania powierzchni o dużych krzywiznach takich jak lustra Goebel’a, płatki silikonowe itp. Używana technika pomiarów optycznych działa niezależnie od odległości od badanej powierzchni, zapewniając swobodę wyboru odległości próbki od sondy i brak niebezpieczeństwa mechanicznego uszkodzenia powierzchni.

Opcjonalne pomiary 2D i 3D

Opcjonalnie urządzenie posiada możliwość wykonania skanów liniowych oraz pełnych skanów powierzchniowych. W przypadku tych drugich uzyskiwane są one przez pokrycie powierzchni skanami liniowymi. Procedury tych pomiarów są w pełni zautomatyzowane i posiadają wiele wygodnych form numerycznych i graficznych prezentacji wyników takich jak reprezentacja 3D, przekroje, czy protokoły pomiarowe.

 

 

OEG2

Informacje o produkcie:

Adobe icon Broszura produktu

▬ Inne produkty firmy OEG można znaleźć tutaj

 

Moduł pomiarowy dla naprężeń cienkich warstw

W przypadku zastosować w technologii półprzewodników i wszystkich ich aplikacji, w których stosuje się techniki modyfikacji powierzchni takie jak napylanie. FLATSCAN umożliwia dodatkowo pomiar naprężeń napylonych warstw w oparciu o teorię Fowkes’a. Oznacza to, że dzięki pomiarowi średniego promienia krzywizny przed i po procesie napylania możliwe jest proste i szybkie obliczenie naprężenia cienkich warstw.

Specyfikacja techniczna

Parametr FLATSCAN
Powtarzalność pomiaru krzywizny ≤ 100 nm**
Rozdzielczość systemu pomiarów optycznych 0,1 arcsec
Dokładność systemu pomiarów optycznych 1 arcsec
Tempo pomiarów 10-30 mm/s
Zakres pomiarowy standardowo: ø 200 mm * (możliwe jest bezproblemowe zwiększenie zakresu)
Grubość próbki bez ograniczeń
minimalny promień krzywizny i powiązana z nim wysokość

strzałki w zależności od długości pomiaru

200 mm: R = 18 m 290 µm

300 mm: R = 25 m 435 µm

500 mm: R = 43 m 725 µm

swobodny dystans pracy bez limitu
długość fali światła laserowego 670 nm *
automatyczna sekwencja pomiarowa tak

* standardowe wyposażenie, może zostać dostosowane do konkretnych potrzeb klienta

** odchylenie standardowe dla 50 pomiarów tego samego skanu standardowej próbki w standardowych warunkach pomiarowych

 

więcej…