Miernik płaskości powierzchni CAS
CAS – Wysokoprecyzyjne urządzenie służące do precyzyjnego pomiaru odległości oraz grubości z dużą odległością głowica-próbka. Zarówno dla powierzchni matowych jak i polerowanych. Umożliwia pomiar grubości szkła, płaskości powierzchni oraz grubości wafli krzemowych (ang. wafer).
Głowica pomiarowa
Głowica pomiarowa wyposażona jest w laser, obiektyw projektora, obiektyw pomiarowy oraz zminiaturyzowaną kamerę CCD o rozdzielczości 440 000 pikseli. Wersja standardowa CAS-30/30 używa symetrycznej wiązki, której oś optyczna pada na powierzchnię próbki pod kątem 30 stopni. Niewielka różnica wysokości dwóch sąsiadujących obszarów przejawia się jako niewielkie przesunięcie przekroju wiązki odbitej na kamerze CCD. To przesunięcie jest mierzone z subpikselową dokładnością dzięki użyciu zaawansowanego oprogramowania przetwarzania obrazu. Dzięki użyciu wysoce precyzyjnej kalibracji możliwe jest osiągnięcie rozdzielczości na poziomie 0.1 mikrona przy zachowaniu dystansu pracy 22±5mm.
Przetwarzanie uzyskanego sygnału
Do gromadzenia i analizowania zebranych danych urządzenie wykorzystuje system przetwarzania obrazu COMEF. Jest to bardzo wygodne i proste w użyciu oprogramowanie oferujące wiele możliwości. Oprogramowanie to powstało specjalnie na potrzeby optycznej aparatury pomiarowej. Kalibracja całego systemu może zostać wykonana przez zwykłego użytkownika. Dane pomiarowe mogą być zbierane w swobodnie konfigurowalne protokoły pomiarowe. Wykorzystując zaimplementowane algorytmy COMEF jest w stanie ultra dokładnie określić położenie wiązki na kamerze CCD, co wprost przekłada się na najwyższą dokładność pomiarów.
Inne produkty firmy OEG można znaleźć tutaj.
Specyfikacja techniczna
| Parametr | CAS_30/30 |
|---|---|
| Rozmiar | (155 x 55 x 145) mm |
| Masa | 400 g |
| Dystans pracy | 22 ± 5 mm |
| Zasilanie | Zewnętrzne 5V i 12V DC |
| Czas pomiaru | Zależy od komputera, rozmiaru obszaru oraz zastosowanych filtrów od 0,1 do 0,5 s |
| Powierzchnia polerowana | Powierzchnia chropowata | |
|---|---|---|
| Rozdzielczość | 0,05 µm | 0,1 µm |
| Dokładność w każdym 100 µm zakresie | ± 0,2 µm | ± 0,25µm |
| Dokładność w całym zakresie | ± 0,5 µm | ± 2µm |
| Zakres pomiarowy | 800 µm ± 400 µm | 600 µm ± 300 µm |