QPREP – System do nanoszenia warstw


asas

QPREP500 jest modułową platformą UHV (ultra wysokiej próżni) która może pracować jako system do nanoszenia warstw. Możliwe jest osiągnięcie ultra wysokiej próżni wraz z jednoczesnym doskonałym dostępem do komory poprzez górny kołnierz.

System może być wyposażony w pompy o zakresie działania od 300 do 1500ls-1 (turbopompy).

Zastosowania

  • Powłoki półprzewodzące
  • Próżniowe nanoszenie warstw
  • Dielektryki
  • Nanostruktury
  • Systemy wielowarstwowe
  • Półprzewodniki złożone
  • Ultra-cienkie powłoki

Główna komora jest zamontowana na stabilnej strukturze, zaprojektowanej w sposób umożliwiający łatwy transport i montaż w laboratorium. System może być wyposażony w turbo pompy o zakresie od 300 do 1200 ls-1.

Typowe ciśnienie bazowe wynosi 5×10-8 mbara (może ono być poprawione poprzez dodanie wewnętrznej lampy do wygrzewania). System bazowy posiada wejście przystosowane do wybranej platformy próbek (standard od 1” do 6”).
Istnieje możliwość rozbudowania systemu o dodatkową komorę załadowczą, która umożliwi czysty transfer próbek podczas opuszczania komory głównej będącej w stanie próżni.

qprep stolik

Po wybraniu tej opcji próbki są przekazywane za pomocą specjalnego ramienia transferowego (opuszczanie i podnoszenie próbek na stolik w osi Z). Stolik na próbki jest zazwyczaj umieszczony na górnej flanszy (z podłożem skierowanym do dołu). Dostęp do stolika/ próbek może być ułatwiony poprzez automatyczne unoszenie górnej flanszy.

Stolik na próbki

Stolik na próbki/manipulator może zostać skonfigurowany do standardu od 2″ do 6″, ale istnieje możliwość dostosowania do wielu innych konfiguracji.

Opcje

  • Różna szybkość obrotu próbki (2-20 rpm)
  • Polaryzacja stołu na próbki RF/DC

  • Podgrzewanie próbki (do 800°C)

  • Chłodzenie próbki

  • Przesunięcie w osi Z do 100mm

Uchwyt próbek wykonany jest z materiałów ogniotrwałych.

więcej…

Mantis_logo

Informacje o produkcie:

Adobe icon Broszura produktu

▬ Komponenty

▬ Inne produkty firmy Mantis Deposition LTD. można znaleźć tutaj

 

Specyfikacja systemu

ModelQPREP400QPREP500
Średnica wewnętrzna komory400mm500mm
Porty do depozycji5 7
Układ pomp700LS-1700 LS-1 (opcja 1200 LS-1)
Bazowe ciśnienie końcowe5 x 10-9 mbara5 x 10-9 mbara
Wygrzewanie komoryWewnętrzne lub zewnętrzneWewnętrzne lub zewnętrzne
Dostęp do komoryAutomatyczne unoszenie górnej flanszy (opcja)Automatyczne unoszenie górnej flanszy (opcja)
Wprowadzenie próbkiPrzez drzwi, bądź komorę załadowczą próbekPrzez drzwi, bądź komorę załadowczą próbek
Przechowywanie próbekDo 5 (opcja)Do 5 (opcja)
Rozmiar próbki25mm – 150mm25mm – 150mm
Manipulacje próbkąRotacja (0 – 20RPM)
Wygrzewanie (20 – 800°C)
Polaryzacja DC (800V)
Polaryzacja FR (oczyszczanie próbki)
Rotacja (0 – 20RPM)
Wygrzewanie (20 – 800°C)
Polaryzacja DC (800V)
Polaryzacja FR (oczyszczanie próbki)
Monitorowanie osadzaniaQCM
RHEED
Porty do obserwacji
QCM
RHEED
Porty do obserwacji
Automatyzacja systemuOpcjaOpcja
Rozmiary1,95m(wys.)x2,5(dł.)x2(szer.)2,1m(wys.)x2,6(dł.)x2(szer.)
Wymagania elektryczne3 Fazy, 415V, 32A (na fazę)3 Fazy, 415V, 32A (na fazę)