QPREP500 jest modułową platformą UHV (ultra wysokiej próżni) która może pracować jako system do nanoszenia warstw. Możliwe jest osiągnięcie ultra wysokiej próżni wraz z jednoczesnym doskonałym dostępem do komory poprzez górny kołnierz.
System może być wyposażony w pompy o zakresie działania od 300 do 1500ls-1 (turbopompy).
Zastosowania
- Powłoki półprzewodzące
- Próżniowe nanoszenie warstw
- Dielektryki
- Nanostruktury
- Systemy wielowarstwowe
- Półprzewodniki złożone
- Ultra-cienkie powłoki
Główna komora jest zamontowana na stabilnej strukturze, zaprojektowanej w sposób umożliwiający łatwy transport i montaż w laboratorium. System może być wyposażony w turbo pompy o zakresie od 300 do 1200 ls-1.
Typowe ciśnienie bazowe wynosi 5×10-8 mbara (może ono być poprawione poprzez dodanie wewnętrznej lampy do wygrzewania). System bazowy posiada wejście przystosowane do wybranej platformy próbek (standard od 1” do 6”).
Istnieje możliwość rozbudowania systemu o dodatkową komorę załadowczą, która umożliwi czysty transfer próbek podczas opuszczania komory głównej będącej w stanie próżni.
Po wybraniu tej opcji próbki są przekazywane za pomocą specjalnego ramienia transferowego (opuszczanie i podnoszenie próbek na stolik w osi Z). Stolik na próbki jest zazwyczaj umieszczony na górnej flanszy (z podłożem skierowanym do dołu). Dostęp do stolika/ próbek może być ułatwiony poprzez automatyczne unoszenie górnej flanszy.
Stolik na próbki
Stolik na próbki/manipulator może zostać skonfigurowany do standardu od 2″ do 6″, ale istnieje możliwość dostosowania do wielu innych konfiguracji.
Opcje
- Różna szybkość obrotu próbki (2-20 rpm)
-
Polaryzacja stołu na próbki RF/DC
-
Podgrzewanie próbki (do 800°C)
-
Chłodzenie próbki
-
Przesunięcie w osi Z do 100mm
Uchwyt próbek wykonany jest z materiałów ogniotrwałych.
Informacje o produkcie:
Broszura produktu▬ Inne produkty firmy Mantis Deposition LTD. można znaleźć tutaj
Specyfikacja systemu
| Model | QPREP400 | QPREP500 |
|---|---|---|
| Średnica wewnętrzna komory | 400mm | 500mm |
| Porty do depozycji | 5 | 7 |
| Układ pomp | 700LS-1 | 700 LS-1 (opcja 1200 LS-1) |
| Bazowe ciśnienie końcowe | 5 x 10-9 mbara | 5 x 10-9 mbara |
| Wygrzewanie komory | Wewnętrzne lub zewnętrzne | Wewnętrzne lub zewnętrzne |
| Dostęp do komory | Automatyczne unoszenie górnej flanszy (opcja) | Automatyczne unoszenie górnej flanszy (opcja) |
| Wprowadzenie próbki | Przez drzwi, bądź komorę załadowczą próbek | Przez drzwi, bądź komorę załadowczą próbek |
| Przechowywanie próbek | Do 5 (opcja) | Do 5 (opcja) |
| Rozmiar próbki | 25mm – 150mm | 25mm – 150mm |
| Manipulacje próbką | Rotacja (0 – 20RPM) Wygrzewanie (20 – 800°C) Polaryzacja DC (800V) Polaryzacja FR (oczyszczanie próbki) | Rotacja (0 – 20RPM) Wygrzewanie (20 – 800°C) Polaryzacja DC (800V) Polaryzacja FR (oczyszczanie próbki) |
| Monitorowanie osadzania | QCM RHEED Porty do obserwacji | QCM RHEED Porty do obserwacji |
| Automatyzacja systemu | Opcja | Opcja |
| Rozmiary | 1,95m(wys.)x2,5(dł.)x2(szer.) | 2,1m(wys.)x2,6(dł.)x2(szer.) |
| Wymagania elektryczne | 3 Fazy, 415V, 32A (na fazę) | 3 Fazy, 415V, 32A (na fazę) |