Seria QUBE – Systemy nanoszenia cienkich warstw


qube_main

Systemy z serii QUBE są niezwykle kompaktowymi i elastycznymi urządzeniami służącymi do nanoszenia (naparowywania) cienkich warstw. QUBE pasują idealnie do zastosowań laboratoryjnych, co sprawia, że są to urządzenia sprawdzające się podczas przeprowadzania rutynowych procesów nanoszenia cienkich warstw, nadają się do integracji z komorami rękawicowymi, świetnie służą jako urządzenia do nauki w małych laboratoriach, oraz znajdują zastosowanie w pomieszczeniach czystych (tzw. cleanroom). W skład systemu QUBE wchodzi m.in. sześcienna rama wykonana ze stali nierdzewnej, zapewniająca sztywność i stabilność. Konstrukcja ramy dostosowana jest zarówno do dużych drzwi przesuwnych jak i wielu łatwo wymienialnych paneli, a to umożliwia łatwe dostosowanie systemu do bieżących potrzeb.

Zastosowania

  • Powłoki antyrefleksyjne
  • Dielektryki
  • Nanostruktury
  • Systemy wielowarstwowe
  • Powłoki optyczne
  • Urządzenia do metalizacji
  • Warstwy ultracienkie

 

W zależności od typu, panel może służyć jako:

– ściana komory (zwykły panel),

– okno podglądowe (panel do obserwacji),

– źródło nanoszenia (panel źródła),

– QCM – pomiar grubości cienkich warstw (panel QCM),

– panel sterowania pompami, lub odczytu głowicy próżniowej.

 

Jako źródła można stosować naparowarki termiczne, magnetrony, naparwowarki elektronowe itp.

 

Integracja z komorami rękawicowymi

Łatwy montaż paneli pozwala zaoszczędzić sporo czasu podczas przeprowadzania prac konserwacyjnych lub ponownej konfiguracji systemu.

Qube może zostać łatwo przystosowany do komory rękawicowej poprzez zastąpienie panelu przedniego drzwiami przesuwnymi.

Opcjonalnie: montaż zgodny z klasą 10 000 dla pomieszczeń czystych.

QUBE - glovebox

System QUBE może zostać łatwo zintegrowany z komorami rękawicowymi

Stolik na próbki
Stolik na próbki QUBE (zazwyczaj umieszczony na górnej części komory, przy próbce skierowanej w dół) jest niezawodny i prosty w użyciu. Dostępne stoliki można zastosować zarówno w przypadku wielu próbek, jak i dla jednej dużej (10”/250mm).

Standardowy stolik jest przystosowany do próbek 4”/100mm (można opcjonalnie zastosować adaptery przy mniejszych próbkach).

QUBE - stoliki na próbki

Podstawowy stolik na próbki (po lewej) i stolik z wygrzewaniem i obrotami (po prawej)

Stolik jest dostępny z opcjami: rotacji, ogrzewania, chłodzenia, pochylania i polaryzacji. Wiele oferowanych opcji pozwala użytkownikowi na dostosowanie systemu do różnych wymagań jakie mogą się pojawić podczas procesu depozycji cienkich warstw.

Bardzo prosta wymiana próbek polegająca na otwarciu drzwiczek i umieszczeniu ich w uchwycie.

więcej…

Mantis_logoInformacje o produkcie:

Adobe icon Broszura produktu

▬ Inne produkty firmy Mantis Deposition LTD. można znaleźć tutaj

 

Niezawodne źródła nanoszenia cienkich warstw

Dostępne źródła rozpylania (sputteringu) magnetronowego posiadają wydajne, kompatybilne z ultra wysoką próżnią magnesy SmCo, dostosowane do pracy z targetami o grubościach w zakresie od 1mm do 6mm (w zależności od zastosowanego materiału).

QUAD – seria mini-parowników e-beam jest rozwiązaniem doskonale sprawdzającym się podczas nanoszenia zarówno ultra-cienkich warstw jak i pojedynczej powłoki. Dodatkowo urządzenia te charakteryzują się niezawodną kontrolą procesu. Źródło posiada płytki służące do monitorowania strumienia, a tym samym współczynnika odparowywania. Ewaporant może być nanoszony na pręt, lub na tygiel o objętości do 1000mm3.

Parowniki TBS (Thermal Boat Sources)

Parowniki TBS są dostępne w kilku konfiguracjach (konfiguracje te zostały stworzone z myślą o optymalnej jednorodności powłoki). Ich konstrukcja charakteryzująca się jednakową odległością łódki od centralnej osi źródła, co sprawia że jest to idealne rozwiązanie dla metali i materiałów organicznych.

Użytkownik nie jest już ograniczany wydajnością innych łódek.

Parowniki ORMA i ORCA – depozycja materiałów organicznych

Parowniki ORMA i ORCA są nowym rozwiązaniem oferującym wysoką kontrolę podczas nanoszenia materiałów organicznych.

Niezależnie od tego czy potrzebujemy jednego źródła o dużej pojemności (ORCA), czy też sześciu źródeł o małych pojemnościach (ORMA), oba rozwiązania oferują precyzyjną regulację termiczną podczas procesu naparowywania, co sprawia, że są to urządzenia świetnie sprawdzające się podczas zaawansowanych badań materiałów organicznych.

Zastosowanie obrotowego, wielokieszeniowego parownika e-beam (do 8 x 15cc) z przemiataniem wiązką w osi x/y, indekserem tygla i przesłoną pozwala na osadzanie wielu różnych materiałów bez konieczności otwierania komory.

 

Automatyzacja

Oprogramowanie Titanium pozwala na pełną kontrolę procesów nanoszenia cienkich warstw spełniających wymagania nawet najbardziej wymagających użytkowników. Titanium posiada też intuicyjny interfejs, oraz wygodne w użyciu paski narzędzi za pomocą których można definiować parametry urządzenia. Pozwala to na proste zapisywanie i wyświetlanie danych przeznaczonych do dalszego opracowywania.

 

Pompy

System pompowy składa się z pompy turbo 265ls-1 (opcjonalnie: 430ls-1 lub 685ls-1) i suchej pompy wstępnej. Ciśnienie w komorze jest mierzone za pomocą zintegrowanej głowicy próżniowej, znajdującej się w pobliżu pompy turbo.

Podczas odpompowywania systemu za pomocą pompy turbo 265ls-1, zagwarantowane ciśnienie bazowe (5.0 x 10-6 mbara) jest osiągane w przeciągu 15 minut. Najniższe ciśnienie bazowe dla systemu QUBE wynosi 1 x 10-7 mbara.

Krzywa odpompowania systemu QUBE:

QUBE - krzywa odpompowania