Seria M

M600 – system UHV do nanoszenia warstw epitaksjalnych oraz cienkich o wysokiej czystości i jakości.

Cechy:

• Cylindryczna komora ultra wysokiej próżni (UHV)
• Możliwość wyposażenia w kriopanel
• Wiele portów CF do źródeł depozycyjnych (ultra wysoka próżnia)
• Komora analityczna, komora załadowcza i wiele portów obserwacyjnych
• Różnorodność dostępnych akcesoriów dla nośnika próbek, umożliwiających m.in.: rotację, wygrzewanie, chłodzenie, polaryzację RF/DC
• Możliwość zastosowania różnorakich pomp np. jonowe, krio oraz turbo
• Szeroki zakres doboru źródeł wykorzystywanych w depozycji cienkich warstw (m.in: parowniki e-beam, krakery termiczne, komórki efuzyjne, magnetrony, oraz źródła nanocząsteczek)

Zastosowania:

• Warstwy półprzewodnikowe
• Tlenki, azotki
• Nanostruktury
• Systemy wielowarstwowe
• Stopy półprzewodnikowe
• Warstwy ultracienkie
• Nanoszenie warstwy pod kątem (Glancing Angle Deposition)

Konfiguracja komory

M 600 – modułowa platforma, przeznaczona do nanoszenia warstw w warunkach ultra wysokiej próżni. Doskonały dostęp do elementów komory jest zapewniony przez górny kołnierz. Wszystkie łączenia są spawane wewnętrznie i mogą być wypolerowane na życzenie w celu zminimalizowania efektu odgazowania powierzchni.

Porty: porty bazowe są rozmieszczone w sposób konfokalny (współogniskowy), a to pozwala na zastosowanie większej ilości źródeł osadzania niż w przypadku konfiguracji niekonfokalnej.

Możliwe jest wyspecyfikowanie dwóch dodatkowych portów bocznych przeznaczonych dla źródeł e-beam o wysokiej mocy, przy pozostawieniu do siedmiu konfokalnych portów osadzania.

System jest też wyposażony w liczne porty przeznaczone dla czujników i narzędzi do analizy.

Kriopanel: system może być wyposażony w panele chłodzone kriogenicznie, które wspomagają zarówno pompowanie jak i pozwalają uniknąć wymiany termicznej pomiędzy źródłami.

Wygrzewanie: system umożliwia zastosowanie wewnętrznego wygrzewania, bądź całkowicie zewnętrznego pokrowca z układem wygrzewania, a to pozwala osiągnąć wyższą próżnię bazową 1.0×10-10 Torr przy odpowiednim pompowaniu.

Pompowanie: system M600 może być wyposażony w pompy: turbo (w zakresie od 200, do 2000 ls-1), krio, oraz jonowe (można również stosować alternatywne typy pomp).

Ekrany

Istnieje opcja wyposażenia komory w usuwalne ekrany zapobiegające zanieczyszczaniom w przypadkach w których występuje wysoka wysoka szybkość depozycji.

Projekt komory głównej może być dostosowany do potrzeb klienta.

Ładowanie próbek

System bazowy posiada boczne drzwi dostępowe przystosowane do wybranej platformy próbek (od 1” do 6” jako standard, 8” na życzenie). Istnieje możliwość rozbudowania systemu o dodatkową komorę załadowczą, która umożliwi czysty transfer próbek bez zmiany próżni w komorze głównej. Przenoszenie próbki dokonywane jest za pomocą specjalnego ramienia transferowego ze sprzężeniem magnetycznym.

Transfer próbek może być zautomatyzowany ze specjalnej kasety na próbki (opcja dodatkowa).