SURFTENS AUTOMATIC – Analiza optyczna


Surftens Automatic

SURFTENS AUTOMATIC

SURFTENS AUTOMATIC – urządzenie do automatycznego pomiaru kąta zwilżania, swobodnej energii powierzchniowej z ruchomym stołem na próbki o rozmiarze 200 x 200 mm.

 

Surftens Automatic – Prezentacja wideo

Surftens Automatic służy do pomiaru kąta zwilżania i został specjalnie zaprojektowany dla przemysłu wysokich technologii półprzewodnikowych

i badań naukowych, a w szczególności do kontroli pokrywania płytki półprzewodnikowej w procesie fotolitograficznym.

Charakteryzuje się:

  • szybkim i łatwym pomiarem kata zwilżania
  • automatyczne pozycjonowanie w płaszczyźnie XY
  • software obsługiwany intuicyjnie
  • wygodna zapisywanie wyników pomiarów w postaci protokołu i obrazów wideo.
  • możliwe obliczenia energii swobodnej według teorii Wu
  • automatyczne mapowanie rozkładu kąta zwilżania na płytce krzemowej.

Surftens Automatic został zaprojektowany do pracy w clean roomach. Obsługa programu jest bardzo prosta. Oprogramowanie Surftens oblicza kat zwilżania po jednym naciśnięciu klawisza. Silnik krokowy gwarantuje szybki pomiar kąta zwilżania w dowolnym punkcie mierzonej płytki półprzewodnikowej. Surfents mierzy jednorodność własności powierzchni w ciągu kilku sekund. Drukowanie wyników pomiarów jest szybkie i proste. Dane mogą być transferowane do programu QA lub konfigurowane do innych formatów.

Kropla mierzonej cieczy jest tworzona przez wbudowany, automatyczny dozownik (dozuje objętości
dowolnie zdefiniowane). Obraz kropli pojawia się natychmiastowo jako wysokiej jakości obraz wideo na ekranie komputera. Pomiar jest rozpoczynany jednym naciśnięciem klawisza. Program oblicza kąt zwilżania i natychmiast prezentuje go w formie graficznej i numerycznej. Szybki pomiar (1 kropla na sekundę) wyklucza błędy. Surftens gwarantuje najwyższą powtarzalność i dokładność pomiarów w powiązaniu z łatwą obsługą. W przypadku słabego kontrastu obrazów może zostać użyte ręczne sterowanie pomiarem.

więcej…

 

 

OEG2

Informacje o produkcie:

Adobe icon Broszura produktu

▬ Inne produkty firmy OEG można znaleźć tutaj

ParametrSurftens Automatic
Pole pomiarowe200x200mm
Dokładność pozycjonowania± 0.05 mm na poziomie próbki
Zakres pomiaru kąta zwilżania1 … 180°
Dokładność pomiaru (system wideo)± 0.5°
Metoda pomiaruMetoda osadzanej kropli (Sessile Drop method)
Sterownik4-osiowy sterownik silnika krokowego z mikrokrokiem

Surftens automatic jest w pełni automatycznym systemem pomiarowym z automatycznym dozownikiem kropel i silnikiem krokowym sterującym stolikiem dla próbek o większych rozmiarach jak na przykład płaski panel z 8 lub 12 waflami krzemowymi. Surftens może zostać również użyty do pomiaru napięcia powierzchniowego ciął stałych i cieczy.

Dokładność pomiaru:

  • rozdzielczość pomiaru kąta zwilżania: 0,05°
  • powtarzalność pomiaru kąta zwilżania: ±0,1°
  • dokładność pomiaru: ±0,5°

 

Napięcie powierzchniowe podłoży i warstw używanych w technologii półprzewodników jest zdeterminowane przez kat zwilżania. Pomiar tego kąta prowadzi do szybkiego zoptymalizowania nowych etapów procesu jak również do lepszego znormalizowania procesu. Małe zmiany we własnościach powierzchniowych podłoży lub warstw ujawniają się jako duże, łatwo wykrywalne, zmiany kąta zwilżania. Mała inwestycja czasowa w pomiary kąta zwilżania owocuje uniknięciem późniejszych problemów produkcyjnych, np. dzięki znajomości kąta zwilżania można sterować procesem adhezji.

 

Zachęcamy również do zapoznania się z działem „Baza wiedzy”, w którym znajdą Państwo wiele innych, ciekawych informacji.