Technika próżniowa


Podstawy techniki próżniowej

 

 Wykaz tematów obejmujących szkolenie w zakresie techniki próżniowej:

  1. Technika próżniowa – podstawowe pojęcia
    1. Techniczne pojęcie próżni, zastosowania próżni, zakresy próżniowe w zastosowaniach przemysłowych i naukowo-badawczych.
    2. Kinetyczna teoria gazu
    3. Przewodnictwo cieplne gazu
    4. Dyfuzja cząsteczek w gazie
    5. Efuzja
    6. Oddziaływanie cząsteczek gazu z powierzchni
    7. Adsorpcja gazu
    8. Czas przebywania cząsteczek na powierzchni
    9. Desorpcja
    10. Stan równowagi miedzy adsorpcją a desorpcji
    11. Rozpraszanie gazu na powierzchni w stanie równowagi
    12. Gaz w ciele stałym
    13. Rozpuszczanie gazu w ciele stałym
    14. Dyfuzja gazu
    15. Przenikanie gazu
    16. Podstawowe pojęcia w technice próżniowej
    17. Pojęcie przepływu, średniej drogi swobodnej, pojęcia ciśnień stosowanych w technice próżniowej, przepływ objętościowy, masowy i PV i ich zastosowanie. Zakresy ciśnień w technice próżniowej.
    18. Rodzaje przepływu i przewodność
    19. Rozróżnienie pomiędzy szybkością pompowania a wydajnością z przykładami zastosowań.
    20. Przepływ gazu – przewodność elementów próżniowych, współczynnik przecieku i desorpcji i ich wpływ na próżnię końcową.
    21. Obliczanie przewodności rur, kryz itp.
  2. Wytwarzanie próżni – metody i urządzenia
    1. Podział pomp próżniowych
      1. Pompy objętościowe olejowe
        1. Zasada działania
        2. Olejowe pompy rotacyjne
        3. Pompowanie par łatwo ulegających kondensacji
        4. Eksploatacja pomp rotacyjnych
      2. Pompy Rootsa
        1. Budowa i zasada działania pomp Rootsa
        2. Problemy eksploatacyjne pomp Rootsa
        3. Pompy suche
        4. Pompy membranowe
        5. Pompy tłokowe
        6. Pompy Rootsa
        7. Pompy pazurowe
        8. Pompy śrubowe
        9. Pompy spiralne
        10. Porównanie pomp suchych
      3. Pompy molekularne i turbomolekularne
        1. Pompy molekularne
        2. Pompy turbomolekularne
        3. Pompy zespolone
      4. Pompy dyfuzyjne
      5. Pompy sorpcyjne
        1. Pompy sublimacyjne
        2. Pompy jonowo-sorpcyjne
        3. Pompy krio-sorpcyjne
      6. Porównanie pomp wysokiej próżni
  3. Pułapki i filtry i pompy specjalne do zastosowań chemicznych i substancji wybuchowych
  4. Dobór oleju w zależności od aplikacji
  5. Ogólne zasady konserwacji mechanicznych pomp próżniowych
  6. Niezbędne prace konserwatorskie takie jak wymiana oleju, filtrów itp. na przykładzie wybranych pomp rotacyjnych i Roots’a.
  7. Systemy pompowe – ogólne zasady doboru pomp
    1. Pompy i systemy próżniowe w zastosowaniach laboratoryjnych
      1. zestawy turbomolekularne
      2. pompy jonowe i kriogeniczne
      3. pompy sublimacyjne w zestawach pompowych
    2. Pompy i systemy pompowe stosowane w aparaturach przemysłowych
      1. systemy z pompami Rootsa
      2. systemy z pompami dyfuzyjnymi
      3. systemy z pompami kriogenicznymi
  8. Odpompowanie komór próżniowych – dobór pomp próżniowych
    1. Odpompowanie bez uwzględniania nacieku i par – próżnia zgrubna
    2. Odpompowanie w zakresie wysokich próżni
    3. Odpompowanie w zakresie próżni niskiej
    4. Dobór odpowiednich pomp
    5. Oszacowanie czasu odpompowania z monogramów
    6. Odpompowanie w przypadku występowania par
  9. Pomiar próżni
    1. Pomiar ciśnienia całkowitego
    2. Kalibracja głowic próżniowych
    3. ogólny opis metod kalibracyjnych
    4. kalibracja poprzez bezpośrednie porównanie
    5. określenie ciśnienia poprzez ekspansję statyczną
    6. systemy kalibracji dynamicznej
    7. kalibracja w zakresie UH
    8. błąd pomiaru próżn
    9. Pomiar ciśnień parcjalnych
    10. kwadrupolowe spektrometry masowe – budowa i zastosowani
    11. selektory magnetyczne – zasada działani
    12. urządzenia do pomiaru ciśnień parcjalnych gazów w zakresie od ciśnienia atmosferycznego do 10-4 mbar
  10. Komponenty próżniowe
    1. materiały stosowane w technice próżniowej
    2. Komponenty montażowe
      1. kołnierze typu ISO-KF i ISO-K, ISO-F, złączki, mieszki, okna uszczelnienia, smary itp.
      2. kołnierze typu CF wraz z opisem komponentów montażowych, uszczelek, okien, przejść obrotowych, transferów itp.
    3. Zawory próżniowe
      1. zawory próżniowe dostosowane do niskiej i wysokiej próżni
      2. zawory próżniowe do UHV
  11. Detekcja nieszczelności
    1. Metody wyznaczania nieszczelności urządzeń próżniowych
      1. metody próżniowe
      2. metody ciśnieniowe
    2. Helowe detektory nieszczelności
    3. Badanie nieszczelności komponentów – ćwiczenia praktyczne
  12. Sterowanie pracą pomp, regulacja poziomu próżni, zabezpieczenia itp.

 Szkolenia praktyczne

  1. Detekcja nieszczelności
  2. Wymiana oleju, filtrów, emulsja olejowa
  3. Kalibracja głowic próżni wstępnej
  4. Połączenia próżniowe
  5. Pokaz zapowietrzenia komory próżniowej suchym gazem i powietrzem.

13. Metody badawcze

Szkolenia w zakresie:

  • XPS/ESCA ,
  • ARUPS, ARPES ,
  • STM/AFM ,
  • ISS ,
  • SIMS ,
  • RGA ,
  • MS ,
  • Nanoindentacja.