Opis projektu:

Projekt ma na celu stworzenie rozwiązania umożliwiającego badanie mechanizmów reakcji powierzchniowych związanych z procesami osadzania warstw atomowych z fazy gazowej (ALD) przy użyciu plazmy, poprzez zastosowanie mobilnego systemu ALD.

Projekt realizowany zgodnie z umową o dofinansowanie nr SPPW/MOBIALD/0086/2024-00 w ramach programu „Badania naukowe i Innowacje”.

Główne założenia projektu:

1. Wykonanie prototypu mobilnego urządzenia ALD z możliwością transferu próbek w próżni (in-vacuo) do badań w wysokiej i ultrawysokiej próżni (HV/UHV) 

2. Zastosowanie mobilnego urządzenia ALD do wykonania badań właściwości powierzchni obejmujących  pomiary spektroskopii absorpcyjnej w zakresie promieniowania rentgenowskiego (fluorescencję rentgenowską oraz pomiar całkowitego prądu elektronowego) realizowaną w polskim ośrodku synchrotronowym SOLARIS przez polskiego partnera AGH, a także badania spektroskopii fotoelektronów rentgenowskich (XPS) prowadzone na aparaturze laboratoryjnej AGH.

 Członkowie konsorcjum naukowo – przemysłowego:

– Centrum Badań i Rozwoju Technologii dla Przemysłu S.A.

– Akademia Górniczo-Hutnicza im. St. Staszica w Krakowie

– MeasLine Sp. z o.o.

– EMPA, Swiss Laboratories of Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures