Interferometria \u015awiat\u0142a Monochromatycznego jest tani\u0105 optyczna metod\u0105 pomiarow\u0105 dogodn\u0105 do obserwacji in-situ dynamicznych zjawisk takich jak p\u0119cznienie polimer\u00f3w, zmiana grubo\u015bci cienkich warstw zachodz\u0105cych podczas obr\u00f3bki prze\u017aroczystych lub p\u00f3\u0142prze\u017aroczystych warstw. Na rysunku zosta\u0142 zilustrowany typowy uk\u0142ad interferometrii \u015bwiat\u0142a monochromatycznego.<\/span><\/p>\n <\/span>Uk\u0142ad do interferometrii \u015bwiat\u0142a monochromatycznego sk\u0142ada si\u0119 lasera b\u0119d\u0105cego \u017ar\u00f3d\u0142em \u015bwiat\u0142a, fotodetektora, zasilacza i uk\u0142adu kszta\u0142tuj\u0105cego sygna\u0142, karty akwizycji danych i komputera przetwarzaj\u0105cego dane i steruj\u0105cego urz\u0105dzeniem. Typow\u0105 barw\u0105 lasera u\u017cytego w tym uk\u0142adzie jest barwa czerwona, jakkolwiek inne barwy jak zielona lub nawet niebieska r\u00f3wnie\u017c mog\u0105 zosta\u0107 u\u017cyte.\u00a0<\/span><\/p>[\/et_pb_text][\/et_pb_column][et_pb_column type=”1_2″ _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” global_colors_info=”{}”][et_pb_divider show_divider=”off” _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” custom_margin=”21px||21px||true|false” global_colors_info=”{}”][\/et_pb_divider][et_pb_image src=”http:\/\/measline.com\/\/wp-content\/uploads\/2021\/11\/interferometr.jpg” title_text=”interferometr” _builder_version=”4.14.2″ _module_preset=”default” hover_enabled=”0″ global_colors_info=”{}” sticky_enabled=”0″][\/et_pb_image][\/et_pb_column][\/et_pb_row][et_pb_row _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” custom_margin=”-1px||-1px||false|false” global_colors_info=”{}”][et_pb_column type=”4_4″ _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” global_colors_info=”{}”][et_pb_text _builder_version=”4.14.2″ _module_preset=”default” custom_margin=”-25px||||false|false” hover_enabled=”0″ global_colors_info=”{}” sticky_enabled=”0″] Pr\u00f3bka jest umieszczona na wypoziomowanej powierzchni i \u015bwiat\u0142o laserowe pada na ni\u0105 niemal pod k\u0105tem prostym. Pr\u00f3bk\u0119 stanowi\u0105 prze\u017aroczyste warstwy (np. polimeru) naniesione na pod\u0142o\u017ce odbijaj\u0105ce \u015bwiat\u0142o (np. krzem). Ca\u0142kowita energia \u015bwiat\u0142a padaj\u0105ca na detektor mo\u017ce by\u0107 przybli\u017cona jako suma energii dw\u00f3ch wi\u0105zek, to znaczy wewn\u0119trzne odbicie w prze\u017aroczystej warstwie mo\u017ce zosta\u0107 zaniedbane w pierwszym przybli\u017ceniu. Do analizy brana jest wi\u0105zka (A) odbita od od powierzchni pr\u00f3bki i druga (B) odbita od powierzchni pod\u0142o\u017ca.<\/span> Ca\u0142kowita energia \u015bwiat\u0142a E, kt\u00f3r\u0105 otrzymuje detektor mo\u017ce zosta\u0107 przybli\u017cona wzorem:<\/span><\/p>[\/et_pb_text][et_pb_image _builder_version=”4.14.2″ _module_preset=”default” hover_enabled=”0″ global_colors_info=”{}” title_text=”xrownanie20swi1.jpg.pagespeed.ic.3s5nJ-dsPu” src=”http:\/\/measline.com\/\/wp-content\/uploads\/2021\/12\/xrownanie20swi1.jpg.pagespeed.ic_.3s5nJ-dsPu.jpg” sticky_enabled=”0″ align=”center”][\/et_pb_image][et_pb_text _builder_version=”4.14.2″ _module_preset=”default” custom_padding=”0px||0px||true|false” hover_enabled=”0″ global_colors_info=”{}” sticky_enabled=”0″] s\u0105 wsp\u00f3\u0142czynnikami za\u0142amania \u015bwiat\u0142a pomi\u0119dzy przyleg\u0142ymi warstwami (0 \u2013 otoczenie, 1 \u2013 warstwa, 2 \u2013 pod\u0142o\u017ce), n1 \u2013 wsp\u00f3\u0142czynnik za\u0142amania \u015bwiat\u0142a warstwy i d1 \u2013 grubo\u015b\u0107 warstwy, podczas gdy n2 \u2013 wsp\u00f3\u0142czynnik za\u0142amania \u015bwiat\u0142a pod\u0142o\u017ca, \u03bb \u2013 d\u0142ugo\u015b\u0107 \u015bwiat\u0142a laserowego u\u017cyta w eksperymentach. W urz\u0105dzeniu FR monitor zastosowany algorytm rozwi\u0105zuje\u00a0 r\u00f3wnania odbicia bez \u017cadnych przybli\u017ce\u0144, co prowadzi do dok\u0142adniejszych wynik\u00f3w.\u00a0Z r\u00f3wnania 1 wynika, \u017ce sygna\u0142 w detektorze zale\u017cy od wsp\u00f3\u0142czynnika za\u0142amania \u015bwiat\u0142a, grubo\u015bci warstwy i d\u0142ugo\u015bci \u015bwiat\u0142a laserowego. Ka\u017cda zmiana we w\u0142asno\u015bciach warstwy prowadzi do zmiany sygna\u0142u w detektorze i jest zapisywana na komputerze za po\u015brednictwem karty akwizycji danych. Rozpatruj\u0105c warstw\u0119 o wsp\u00f3\u0142czynniku za\u0142amania \u015bwiat\u0142a 1,5 o\u015bwietlan\u0105 \u015bwiat\u0142em o d\u0142ugo\u015bci 635 nm mo\u017cna zauwa\u017cy\u0107 na podstawie r\u00f3wnania 1, \u017ce sygna\u0142 detektora zmienia si\u0119 okresowo wraz ze zmian\u0105 grubo\u015bci warstwy o 211 nm. Po zmianie d\u0142ugo\u015bci \u015bwiat\u0142a na 532 nm okres ten skr\u00f3ci\u0142 si\u0119 do 177 nm umo\u017cliwiaj\u0105c dok\u0142adniejsze okre\u015blenie ma\u0142ych zmian grubo\u015bci lub wsp\u00f3\u0142czynnika za\u0142amania. Analiza ilo\u015bciowa zmian grubo\u015bci jest ograniczona do zmian sygna\u0142\u00f3w wyj\u015bciowych wi\u0119kszych ni\u017c po\u0142owa odpowiadaj\u0105cego okresu.<\/span><\/p>[\/et_pb_text][\/et_pb_column][\/et_pb_row][et_pb_row column_structure=”3_5,2_5″ _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” custom_margin=”-1px||-1px||true|false” custom_padding=”0px||0px||true|false” global_colors_info=”{}”][et_pb_column type=”3_5″ _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” global_colors_info=”{}”][et_pb_text _builder_version=”4.14.2″ _module_preset=”default” hover_enabled=”0″ global_colors_info=”{}” sticky_enabled=”0″] Rysunek obok przedstawia roztapianie si\u0119 szk\u0142a akrylowego uprzednio wystawionego na dzia\u0142anie wi\u0105zki elektron\u00f3w o r\u00f3\u017cnych g\u0119sto\u015bciach \u0142adunku. Stosuj\u0105c r\u00f3wnanie 1 wyliczona zosta\u0142a grubo\u015b\u0107 warstwy ~600nm (troch\u0119 mniej ni\u017c 3 okresy) co by\u0142o w bardzo du\u017cej zgodno\u015bci z pomiarami profilometrycznymi.<\/span> Interferometria \u015bwiat\u0142a monochromatycznegoInterferometria \u015awiat\u0142a Monochromatycznego jest tani\u0105 optyczna metod\u0105 pomiarow\u0105 dogodn\u0105 do obserwacji in-situ dynamicznych zjawisk takich jak p\u0119cznienie polimer\u00f3w, zmiana grubo\u015bci cienkich warstw zachodz\u0105cych podczas obr\u00f3bki prze\u017aroczystych lub p\u00f3\u0142prze\u017aroczystych warstw. Na rysunku zosta\u0142 zilustrowany typowy uk\u0142ad interferometrii \u015bwiat\u0142a monochromatycznego. Uk\u0142ad do interferometrii \u015bwiat\u0142a monochromatycznego sk\u0142ada si\u0119 lasera b\u0119d\u0105cego \u017ar\u00f3d\u0142em \u015bwiat\u0142a, fotodetektora, zasilacza i uk\u0142adu […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":605,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"","meta":{"_et_pb_use_builder":"on","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"class_list":["post-461","page","type-page","status-publish","hentry"],"yoast_head":"\n
Najbardziej znacz\u0105c\u0105 cech\u0105 metody interferometrii \u015bwiat\u0142a monochromatycznego prosta budowa, du\u017ca elastyczno\u015b\u0107 i niski koszt. Jakkolwiek w zwi\u0105zku z u\u017cyciem \u015bwiat\u0142a monochromatycznego ta metoda powinna by\u0107 stosowana raczej do monitorowania przebiegu procesu ni\u017c do pomiar\u00f3w warstwy i scharakteryzowania jej.<\/span>
Typowe zastosowania to kontrola proces\u00f3w takich jak wytrawianie, powlekanie obrotowe itp.<\/span><\/p>[\/et_pb_text][\/et_pb_column][et_pb_column type=”2_5″ _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” global_colors_info=”{}”][et_pb_image src=”http:\/\/measline.com\/\/wp-content\/uploads\/2021\/11\/swi_wykres.jpg” title_text=”swi_wykres” _builder_version=”4.14.1″ _module_preset=”default” global_colors_info=”{}”][\/et_pb_image][\/et_pb_column][\/et_pb_row][\/et_pb_section]\n\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"