SURFTENS HL automatic
Urządzenie SURFTENSE HL automatic zostało stworzone z myślą przemyśle półprzewodnikowym, w szczególności do kontroli procesów powlekania powierzchni oraz litografii.
Najważniejsze cechy urządzenia SURFTENS HL automatic
- w pełni automatyczne mapowanie kąta zwilżania powierzchni
- analiza jednorodności powierzchni
- mały rozmiar urządzenia
- zmowtoryzowany stolik do automatycznego pozycjonowania waferów
- zmotoryzowana, automatyczna jednostka dozująca
- automatyczne umieszczanie kropli
- automatyczna sekwencja pomiarów kontrolowana z poziomu oprogramowania
- wygodna dokumentacja wyników pomiaru w postaci protokołu oraz zapisu wideo
- opracowany do pracy w clean-roomach
- krótki czas pomiaru pozwalający na uniknięcie błędów
Specyfikacja:
| Rozmiar próbek | do 12″ |
| Układ dozujący |
Automatyczny i zmotoryzowany Automatyczne umieszczanie kropli |
|
Układ pozycjonujący |
Automatyczny Ruch w kierunkach x i φ |
| Czas pomiaru | 1 s na kroplę |
| Oprogramowanie |
Programowanie wszystkich etapów pomiaru Automatyczne tworzenie danych statystycznych Automatyczne gromadzenie danych w postaci protokołu i zapisu wideo Możliwość ręcznej analizy w przypadku obrazów o słabym kontraście |
