Komponenty próżniowe
Oferujemy elementy przeznaczone do pracy w systemach próżniowych, w tym magnetrony, parowarki, transfer obrotowy oraz akcesoria przeznaczone do zastosowań w próżni.
Magnetrony
Magnetrony umożliwiające nanoszenie warstw z targetów metalicznych (przewodzących) oraz ceramicznych m.in. tlenkowych. Są wyposażone w zawory doprowadzające gaz roboczy. Mogą być dostosowane go targetów 1″ lub 2″.
Parowarki
Urządzenia przeznaczone do nanoszenia monowarstw oraz wielowarstw w oparciu o parowanie przez bombardowanie elektronowe ze źródła w postaci drutu, pręta lub z tygla w szerokim zakresie temperatur.
Transfery ze sprzężeniem magnetycznym
Moduły przeznaczone do transferu próbki np. pomiędzy komorą załadowczą a komorami badawczymi, komorami nanoszenia warstw, w warunkach próżni w celu uniknięcia wpływu atmosfery na próbkę oraz konieczności zapowietrzania komór każdorazowo podczas wymiany próbki.
Dostępne są liniowe oraz obrotowe transfery ze sprzężeniem magnetycznym.
Komory próżniowe
Dostosowane do wymagań klienta komory próżniowe dostosowane do pracy w wysokiej i ultrawysokiej próżni. W zależności od przeznaczenia komory mogą charakteryzować się różnym rozmiarem, grubością ścian oraz wielkością i liczbą portów.
Elementy do systemów próżniowych
- Kołnierze typu CF,KF, ISO-K
- Reduktory złącz CF,KF, ISO-K
- Uszczelki do złącz CF,KF, ISO-K
- Rury, złącza, kolana, trójniki, czwórniki CF,KF, ISO-K
- Mieszki i węże CF,KF, ISO-K
- Redukcje i adaptery CF,KF, ISO-K
- Przepusty elektryczne i gazowe
