Nanoszenie cienkich warstw
Oferujemy różnorodne systemy umożliwiające nanoszenie cienkich warstw poprzez fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD, ang. physical vapour deposition) oparte m.in. o techniki rozpylania magnetronowego, metody termiczne czy też układy wykorzystujące kombinację litografii oraz techniki AFM, umożliwiające tworzenie struktur z rozdzielczością atomową.
Wszystkie systemy do wytwarzania cienkich warstw znajdujące się w ofercie mogą zostać dostosowane do wymagań klienta. Cena tych urządzeń jest zależna od stopnia rozbudowania systemu.
W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.
Systemy próżniowe do nanoszenia cienkich warstw
Kompaktowa napylarka LPNW01
Kompaktowa stołowa napylarka do metalizacji powierzchni z kontenerkiem do przenoszenia próbek w warunkach kontrolowanej atmosfery pomiędzy napylarką a komorą rękawicową
Kompaktowa napylarka MCS 787
System do metalizacji powierzchni próbek lub nanoszenia cienkich warstw niemetalicznych metodą rozpylania jonowego za pomocą do czterech źródeł magnetronowych. Urządzenie wyposażone jest w transfer liniowy.
Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni
Urządzenie pozwalające na nanoszenie cienkich warstw metodą termiczną i magnetronową, wyposażone w komorę załadowczą.
System nanoszenia powłok PVDS 700
System nanoszenia powłok techniką PVD oparty na termicznej metodzie naparowywania cienkowarstwowego
Technika implantacji pojedynczego atomu
Multi-Plattform UHV System (AFM-MPS)
kombinacja technik AFM z AES i XPS do kompleksowej analizy powierzchni oraz magnetronowego i litograficznego nanoszenie warstw i obiektów.
Komponenty próżniowe do nanoszenia cienkich warstw
Magnetrony
Magnetrony umożliwiające nanoszenie warstw metodą PVD z targetów metalicznych (przewodzących) oraz ceramicznych m.in. tlenkowych. Są wyposażone w zawory doprowadzające gaz roboczy. Mogą być dostosowane go targetów 1″, 2″,3″ lub 4″.
Parowarki
Urządzenia przeznaczone do nanoszenia monowarstw oraz wielowarstw techniką PVD w oparciu o parowanie przez bombardowanie elektronowe ze źródła w postaci drutu, pręta lub z tygla w szerokim zakresie temperatur.
