AFMinSEM
AFMinSEM jest urządzeniem pozwalającym na obrazowanie, wytwarzanie obiektów w skali nanometrycznej oraz zastosowanie w metrologii. Wykorzystanie piezorezystywnych próbników umożliwia wysoko zautomatyzowaną kontrolę ruchu ostrza bez konieczności stosowania układu optycznego. Zapewnia to kompaktowość systemu i jego stabilną pracę, a także łatwość w obsłudze.
Powyższe cechy urządzenia AFMinSEM pozwalają na integrację z dowolnym mikroskopem SEM bez konieczności modyfikacji komory, a czas instalacji jest krótszy niż 5 minut. Zdolność urządzenia do pracy zarówno w powietrzu jak i próżni umożliwia jednoczesną pracę mikroskopów AFM i SEM bez przestojów.
Najważniejsze cechy urządzenia AFMinSEM:
- Dedykowany do pomiarów wewnątrz komory SEM
- Dostosowany do większości mikroskopów SEM
- Kompaktowość umożliwia pracę w ograniczonej przestrzeni
- Możliwość pracy w powietrzu i próżni
- Umożliwia wysoce precyzyjne pozycjonowanie
- Łatwy w użyciu przy zachowaniu pełnej funkcjonalności
- Solidny i niezawodny
- Wysoki poziom automatyzacji
- Prosta wymiana próbnika
- Niemagnetyczny stolik xyz
- Przeznaczony do obrazowania, tworzenia oraz pomiarów właściwości struktur w skali nanometrycznej
Specyfikacja:
| Środowisko pracy | Powietrze i próżnia |
| Tryby Pracy |
Obrazowanie: bezkontaktowy, kontaktowy, przesunięcia fazowego Spektroskopia: siła-odległość, amplituda odległość Inne tryby na życzenie (Current-Distance, Kelvin probe force microscopy (KPFM), Magnetic Force Microscopy (MFM), Q-Control, Mikroskopia Sił Elektrostatycznych (EFM), Litografia. |
| Rozdzielczość pozycjonowania |
X, Y: 0,4 nm Z: 0,2 nm |
| Maksymalny zakres ruchu podczas pomiaru (X, Y, Z) |
60 μm x 60 μm x 20 μm Maksymalnie ograniczony ruch poza płaszczyznami |
| Maksymalne pole adresowania |
18 mm x 18 mm Rozdzielczość: 3 μm |
| Częstotliwości rezonansowe stolika |
X, Y: 750Hz; Z: 2000Hz |
| Maksymalny rozmiar próbki |
Średnica: 70 mm Wysokość 6 mm |
| Pozycjoner zgrubny |
Manipulacja w zakresie 1,5 cm we wszystkich osiach Dokładność: 3 nm |
| Zbliżanie do próbki |
Zakres ruchu: 8 mm W pełni automatyczne lub krokowe sterowane ręcznie |
| Kamera i optyka | Opcjonalnie dostępna kamera nawigacyjna do pracy w powietrzu |
| Wymiary i waga urządzenia |
Wymiary: 108 mm x 70 mm x 50 mm Waga: 360g |
| Montaż | Dostosowany do większości systemów SEM-/FIB |
Zabacz także komorę akustyczną firmy MeasLine dostosowaną do mikroskopów AFM.
