FR-Scanner
FR-Scanner to narzędzie do automatycznej charakterystyki warstw, powłok, błon o dużych powierzchniach. Urządzenie umożliwia szybkie tworzenie mapowanie powierzchni pod względem grubości, współczynnika załamania światła, jednorodności, koloru itp. podłoża o dowolnej średnicy/kształcie mogą być umieszczane w uchwycie próżniowym.
Najważniejsze cechy urządzenia FR-Scanner
- Przeznaczony do mapowania dużych powierzchni
- Szybkie skanowanie (625 punktów w minutę)
- Duża dokłaność i powtarzalność pomiarów
- Długa żywotność źródła światła
Specyfikacja:
|
Rozmiar próbki
|
Wafery 2″, 3″,4″. 6″, 8″, 300 mm Również podłoża o nieregularnych kształtach |
| Rozmiar plamki |
360 μm |
| Rozdzielczość kontowa |
1° |
| Minimalna grubość dla jednoczesnego pomiaru grubości i współczynnika odbicia | 100 nm |
| Zakres grubości | 20 nm-80 μm |
| Precyzja pomiaru |
0,06 nm |
| Stabilność pomiaru | 0,06 nm |
| Dokładność pomiaru |
1 nm |
| Prędkość skanowania |
625 pomiarów/min dla podłoża 8″ |
| Komputer |
Dowolny PC obsługujący system Windows 7/8/10 64 bit |
| Baza danych |
Ponad 650 różnych materiałów |
| Wymiary Szerokość x Długość x Wysokość | 485 x 457 x 500 mm |
| Zakres spektralny | VIS/NIR (370-1020 nm) |
| Specyfikacja spektrometru | 3648 pixeli |
| Źródło Światła MTBF | 10000 h |
W ofercie znajdują się również inne urządzenia z serii FR, w tym modułowy FR-pRo posiadający możliwość dostosowania do wymagań użytkownika poprzez dobór akcesoriów, czy też przenośny FR-pOrtable. Zachęcamy do zapoznania się z szeroką gamą produktów serii FR firmy Thetametrisis.
