logo_head
Ue Efrr

FR-Education

FR-Education jest urządzeniem przeznaczonym do analizy grubości warstw oraz właściwości i stałych optycznych dedykowanym dla jednostek edukacyjnych. Jest to narzędzie idealne do prezentacji zasad i zaznaczenia zjawiska interferencji optycznych oraz jego zastosowań w przemyśle półprzewodników oraz powłok.

Najważniejsze cechy urządzenia FR-Education

  • Dedykowany dla jednostek edukacyjnych
  • Niski koszt
  • Oparty o podstawową wersję urządzenia FR-Basic
  • Ograniczony zakres mierzonej grubości
  • Wyposażony w uchwyt do warstw i kuwet
  • Pomiary reflektancji, transmitancji, absorbancji, grubości warstw, stałych optycznych n i k

Specyfikacja:

Zakres pomiarowy

100 nm-30μm

Rozmiar plamki 350μm średnicy
Rozmiar próbek

10-150 mm

Dla pomiaru współczynnika odbicia wymagana grubość ≥ 220 nm

Stolik na próbki Aluminiowy panel górny. Uchwyt na sondę refleksyjną z ręcznym przesuwem 170mm – 200mm – 145mm (XYZ), dla precyzyjnego pozycjonowania sondy nad obszarem pomiarowym
Próbki referencyjne a) standard Si, b) SiO2/Si c) Si3N4 /SiO2​/Si
Precyzja pomiaru 1 nm lub 1%
Źródło światła Wbudowane, sterowane programowo halogenowe źródło światła wolframowego.
Czas nagrzewania ~10min.
Natężenie światła sterowane programowo. Żywotność: 5000h.
Oprogramowanie FR-Monitor (32 i 64 bity), Windows 7, 8, 10
Baza danych

Ponad 650 różnych materiałów

Spektrometr

1024 pikseli, 12 bitów Spektrometr A/D (350-800 nm)

Zasilanie

 110-220 V

Wymiary i waga 380 x 320 mm
8,0 kg
Dołączone do urządzenia Instrukcja urządzenia i oprogramowania (w formie papierowej i elektronicznej)