logo_head

AFMinSEM

AFMinSEM jest urządzeniem pozwalającym na obrazowanie, wytwarzanie obiektów w skali nanometrycznej oraz zastosowanie w metrologii. Wykorzystanie piezorezystywnych próbników umożliwia wysoko zautomatyzowaną kontrolę ruchu ostrza bez konieczności stosowania układu optycznego. Zapewnia to kompaktowość systemu i jego stabilną pracę, a także łatwość w obsłudze.
Powyższe cechy urządzenia AFMinSEM pozwalają na integrację z dowolnym mikroskopem SEM bez konieczności modyfikacji komory, a czas instalacji jest krótszy niż 5 minut. Zdolność urządzenia do pracy zarówno w powietrzu jak i próżni umożliwia jednoczesną pracę mikroskopów AFM i SEM bez przestojów.

Najważniejsze cechy urządzenia AFMinSEM:

  • Dedykowany do pomiarów wewnątrz komory SEM
  • Dostosowany do większości mikroskopów SEM
  • Kompaktowość umożliwia pracę w ograniczonej przestrzeni
  • Możliwość pracy w powietrzu i próżni
  • Umożliwia wysoce precyzyjne pozycjonowanie
  • Łatwy w użyciu przy zachowaniu pełnej funkcjonalności
  • Solidny i niezawodny
  • Wysoki poziom automatyzacji
  • Prosta wymiana próbnika
  • Niemagnetyczny stolik xyz
  • Przeznaczony do obrazowania, tworzenia oraz pomiarów właściwości struktur w skali nanometrycznej

Specyfikacja:

    Środowisko pracy Powietrze i próżnia
    Tryby Pracy

    Obrazowanie: bezkontaktowy, kontaktowy, przesunięcia fazowego

    Spektroskopia:  siła-odległość, amplituda odległość

    Inne tryby na życzenie (Current-Distance, Kelvin probe force microscopy (KPFM), Magnetic Force Microscopy (MFM), Q-Control, Mikroskopia Sił Elektrostatycznych (EFM), Litografia.

    Rozdzielczość pozycjonowania

    X, Y:  0,4 nm

    Z: 0,2 nm

    Maksymalny zakres ruchu podczas pomiaru (X, Y, Z)

    60 μm x 60 μm x 20 μm

    Maksymalnie ograniczony ruch poza płaszczyznami

    Maksymalne pole adresowania

    18 mm x 18 mm

    Rozdzielczość: 3 μm

    Częstotliwości rezonansowe stolika

    X, Y: 750Hz;

    Z: 2000Hz

    Maksymalny rozmiar próbki

    Średnica: 70 mm

    Wysokość 6 mm

    Pozycjoner zgrubny

    Manipulacja w zakresie 1,5 cm we wszystkich osiach

    Dokładność: 3 nm

    Zbliżanie do próbki

    Zakres ruchu: 8 mm

    W pełni automatyczne lub krokowe sterowane ręcznie

    Kamera i optyka Opcjonalnie dostępna kamera nawigacyjna do pracy w powietrzu
    Wymiary i waga urządzenia

    Wymiary: 108 mm x 70 mm x 50 mm

    Waga: 360g

    Montaż Dostosowany do większości systemów SEM-/FIB

        Zabacz także komorę akustyczną firmy MeasLine dostosowaną do mikroskopów AFM.