FR-Education
FR-Education jest urządzeniem przeznaczonym do analizy grubości warstw oraz właściwości i stałych optycznych dedykowanym dla jednostek edukacyjnych. Jest to narzędzie idealne do prezentacji zasad i zaznaczenia zjawiska interferencji optycznych oraz jego zastosowań w przemyśle półprzewodników oraz powłok.
Najważniejsze cechy urządzenia FR-Education
- Dedykowany dla jednostek edukacyjnych
- Niski koszt
- Oparty o podstawową wersję urządzenia FR-Basic
- Ograniczony zakres mierzonej grubości
- Wyposażony w uchwyt do warstw i kuwet
- Pomiary reflektancji, transmitancji, absorbancji, grubości warstw, stałych optycznych n i k
Specyfikacja:
| Zakres pomiarowy |
100 nm-30μm |
| Rozmiar plamki | 350μm średnicy |
| Rozmiar próbek |
10-150 mm Dla pomiaru współczynnika odbicia wymagana grubość ≥ 220 nm |
| Stolik na próbki | Aluminiowy panel górny. Uchwyt na sondę refleksyjną z ręcznym przesuwem 170mm – 200mm – 145mm (XYZ), dla precyzyjnego pozycjonowania sondy nad obszarem pomiarowym |
| Próbki referencyjne | a) standard Si, b) SiO2/Si c) Si3N4 /SiO2/Si |
| Precyzja pomiaru | 1 nm lub 1% |
| Źródło światła | Wbudowane, sterowane programowo halogenowe źródło światła wolframowego. Czas nagrzewania ~10min. Natężenie światła sterowane programowo. Żywotność: 5000h. |
| Oprogramowanie | FR-Monitor (32 i 64 bity), Windows 7, 8, 10 |
| Baza danych |
Ponad 650 różnych materiałów |
| Spektrometr |
1024 pikseli, 12 bitów Spektrometr A/D (350-800 nm) |
| Zasilanie |
110-220 V |
| Wymiary i waga | 380 x 320 mm 8,0 kg |
| Dołączone do urządzenia | Instrukcja urządzenia i oprogramowania (w formie papierowej i elektronicznej) |
