Komora reakcyjna UHV z manipulatorem do przełamywania próbek
Komora reakcyjna UHV dostosowana do integracji z istniejącym systemem będącym w posiadaniu klienta. Konstrukcja pozwala na wygrzewanie próbek w komorze kwarcowej zapewniając brak kontaktu próbki z materiałami geterującymi podczas wygrzewania próbki. System składa się z dwóch komór próżniowych tj. komory wygrzewania i komory badawczej. Próbka może być transferowana z dowolnej komory próżniowej do dostarczanych komór próżniowych za pomocą transferu linowego ze sprzężeniem magnetycznym w warunkach UHV.
Najważniejsze cechy urządzenia:
- komory próżniowe: wygrzewania i badawcza, połączone za pomocą bramowych zaworów UHV
- transfer liniowy do przenoszenia próbek w warunkach UHV
- komora wygrzewania: rura kwarcowa z zaślepionym końcem lub przewężeniem umożliwiającym podłączenie gazu osłonowego
- próbka w czasie wygrzewania znajduje się w osłonie kwarcowej
- komora badawcza wyposażona jest w podłączenia elektryczne 4 punktowej metody pomiaru rezystancji, miernik próżni UHV oraz okno obserwacyjne
Specyfikacja:
| Szczelność komór |
nie gorsza niż 10ˉ⁹ mbar*l/s |
| Ogrzewanie rury kwarcowej | do 1000°C |
| Wygrzewanie próbek w stacji przechwytu | do 300°C |
| Pomiar próżni |
głowica pomiaru ciśnienia absolutnego: 10 mbar głowica typu Pirani do 10ˉ³ mbar |
| System pompowy |
pompa turbomolekularna o szybkości co najmniej 60 l/s, pompa wstępna oraz system sterowania |
| Stelaż | umożliwiający zintegrowanie z innymi, istniejącymi już komorami próżniowymi |
