logo_head
Próbnik piezorezystywny do AFM, z piezorezystywnym mostkiem Wheatstone’a i silnikiem termomechanicznym

Próbniki piezorezystywne do AFM

Aktywne sondy do mikroskopów sił atomowych posiadają zintegrowany z nimi siłownik termomechaniczny. Jest on utworzony z wielu cienkich warstw kompozytowych charakteryzujących się różnymi współczynnikami rozszerzalności temperaturowej. Zróżnicowane wydłużanie poszczególnych warstw umożliwia kontrolowane zginanie dźwigni. Siłownik ten umożliwia także wzbudzenie dźwigni do jego częstotliwości rezonansowej.

Zjawisko piezorezystywne polega na zmianie rezystancji materiału w wyniku działania siły (naprężenia). Rejestrowanie nawet niewielkich zmian rezystancji możliwe jest dzięki zastosowaniu mostka  Wheatstone’a. Zastosowanie próbników piezorezystywnych pozwala zatem na wykonywanie powtarzalnych pomiarów z rozdzielczością atomową. System ten nie wymaga stosowania układu optycznego, a więc nie jest zależny od ograniczeń detekcji optycznej, czułości oraz podatny na zjawisko dyfrakcji.

Najważniejsze cechy próbników piezorezystywnych

  • siłownik termomechaniczny i piezorezystywny mostek Wheatstone’a.
  • umożliwiają szybki i precyzyjny pomiar
  • ułatwienie pomiaru przez brak koniczności ustawiania lasera
  • duża powtarzalność pomiarów 
  • brak zależności od ograniczeń detekcji optycznej związanej m.in. ze zjawiskiem dyfrakcji
  • brak potrzeby stosowania układu optycznego umożliwia zmniejszenie kosztów i rozmiarów urządzenia
  • łatwa wymiana próbników

 

Specyfiacja

Możliwe tryby pracy Aktywny / Pasywny
Aktywacja Zintegrowany siłownik napędzany termomechanicznie
Odczyt Piezorezystywny
Materiał Krzem
Wymiary

Szerokość: 120 μm (+/- 5 μm)

Długość: 350  μm (+/- 10 μm)

Grubość: możliwe 3-5 μm (+/- 1 μm)

Wysokość ostrza 4,5  μm w płaszczyźnie (+/- 10%)