logo_head
Ue Efrr
Powrót do wszystkich projektów
Systemy do nanoszenia cienkich warstw
System magnetronowy do nanoszenia cienkich warstw

Kompaktowa napylarka magnetronowa MCS 787

Napylarka magnetronowa to system do metalizacji powierzchni próbek lub nanoszenia cienkich warstw niemetalicznych metodą rozpylania jonowego, Urządzenie wyposażone jest ponadto w system umożliwiający przenoszenie nośnika próbek do komory magnetronów za pomocą transferu liniowego.

Najważniejsze cechy urządzenia:

  • Przeznaczone do nanoszenia warstw poprzez rozpylanie magnetronowe, techniką fizycznego osadzania z fazy gazowej PVD
  • Komora nanoszenia umożliwiająca zamocowanie do czterech źródeł magnetronowych
  • Grubość nanoszonych warstw kontrolowana poprzez pomiary wagi kwarcowej składającej się z głowicy kwarcowej oraz układu sterowania zapewniającego możliwość uzyskania powtarzalności grubości warstw z dokładnością od części monowarstwy
  • Obrotowy stoli o ciągłym obrocie nośnika próbek podczas rozpylania z targetu w celu zapewnienia jednorodnej grubości warstwy w obrębie całej powierzchni próbki
  • Temperatura próbek kontrolowana i stabilizowana w zakresie od temperatury pokojowej do 400°C

  • Źródła magnetronowe umieszczone od dołu komory, wyposażone w porty umożliwiające podawania gazu bezpośrednio nad targetem

  • Przenoszenie nośnika próbek z komory załadowczej do komory magnetronów za pomocą transferu liniowego

  • Możliwość rozbudowy systemu o kontener do przenoszenia próbek w gazie osłonowym pomiędzy komorą załadowczą a komorą rękawicową

  • Zastosowanie komory załadowczej (śluzy) zapewnia małe skoki ciśnienia w komorze naparowywania

  • system wyposażony w 4 przesłony dostosowane do magnetronów oraz jedną przesłonę próbki

  • Uchwyt próbek umożliwia zamocowanie maski do podłoży o rozmiarach 50x50mm, pozwalających na zastosowanie podłoży o mniejszych rozmiarach

Kompaktowa napylarka
Komora załadowcza
Komora załadowcza próbek
Akcesoryjna siatka do systemu napylania warstw
System do magnetronowego nanoszenia warstw
Komora napylarki magnetronowej

Specyfikacja:

Źródło nanoszonego materiału

Do czterech źródeł magnetronowych

Przeznaczone do targetów 1”
Możliwość wymiany magnetronów na dostosowane do targetów 2”
Zasilanie magnetronów

typu DC do targetów metalicznych
magnetrony dostosowane do zasilaczy typu RF do targetów nieprzewodzących
Kontrola grubości warstw waga kwarcowa
Temperatura próbek od temperatury pokojowej do 400°C
Czas uzyskiwania próżni

10ˉ⁶ mbar w ciągu 2 godzin od zapowietrzenia komory
Układ pomp

turbomolekularna o szybkości pompowania >250 l/s

sucha pompa wstępna o szybkości pompowania nie mniejszej niż 5 m³/h
Pomiar próżni

Dwie głowice próżniowe typu Pirani do pomiaru próżni wstępnej

głowica próżniowa typu Penning lub Bayard-Alpert w zakresie 10ˉ² mbar – 10ˉ⁹ mbar

      Zobacz także inne systemy do nanoszenia warstw:
      Kompaktowa napylarka LPNW01 do termicznego nanoszenia cienkich warstw 
      System nanoszenia powłok PVDS 700 do nanoszenia warstw techniką PVD
      Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni umożliwiająca nanoszenie warstw metodą termiczną oraz rozpylania jonowego

      W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.