Napylarka z komorą załadowczą
Komora termicznego nanoszenia warstw została wykonana w standardzie UHV. Jest przystosowana do zamocowania do czterech parowarek termicznych z otwieranym oknem próżniowym umożliwiającym dodawanie materiału do parowarek. Kontrola grubości nanoszonych warstw odbywa się za pomocą wagi kwarcowej.
Jednorodność nanoszonych warstw jest zapewniona poprzez zastosowanie stolika obrotowego o ciągłym obrocie nośnika próbek w trakcie parowania. Stolik jest przystosowany do ogrzewania próbki i stabilizowania temperatury w zakresie od temperatury pokojowej do 400ºC. Stacja wygrzewania i obrotu próbki jest wyposażona w przesłonę próbki. Próbkę umieszcza się na nośniku, umożliwiających zamontowanie próbek o rozmiarze maksymalnym 50×50 mm, jednoczenie możliwe jest zamontowanie większej liczby małych próbek. Dostępne są również nośniki dostosowane do mocowania próbników AFM.
Nośnik wraz z próbkami jest przenoszony z komory załadowczej do komory termicznego nanoszenia warstw za pomocą transferu liniowego, przez co próżnia w komorze nanoszenia warstw nie ulega znacznym zmianom w trakcie transferowania próbek. Po zamocowaniu nośnika próbek
w uchwycie komory załadowczej komora załadowcza może zostać odpompowana do wymaganego poziomu próżni, po czym możliwe jest otwarcie zaworu rozdzielającego komorę załadowczą i komorę nanoszenia warstw.
System może zostać rozbudowany o komorę magazynu nośników próbek, umożliwiającą przechowywanie do 5 nośników próbek w warunkach próżniowych.
Najważniejsze cechy urządzenia:
- Komora termicznego nanoszenia warstw wykonana w standardzie UHV
- Umożliwia zamocowanie do czterech parowarek termicznych
- Okno próżniowe umożliwiające dodawanie materiału do parowarek
- Komora załadowcza do wprowadzania próbek pod ciśnieniem atmosferycznym
- Transfer liniowy do transportu próbek z komory załadowczej do komory termicznego nanoszenia warstw
- Kontrola grubości warstw za pomocą wagi kwarcowej
- Możliwość wygrzewania próbek do 400ºC
- Stacja mocowania próbek zapewnia możliwość ciągłego obrotu podczas procesu nanoszenia
- Ciśnienie w komorze termicznej poniżej 10-6 mbar uzyskiwane jest po zapowietrzeniu komory suchym powietrzem lub azotem w ciągu 2 godzin przy użyciu pompy turbomolekularnej o szybkości pompowania nie mniejszej niż 200l/s. Ciśnienie bazowe po wygrzaniu komory do
150ºC przez 48 godzin <10-9 mbara.
- Komora załadowcza może być pompowana za pomocą pompy suchej do próżni poniżej10-1 mbar lub stanowiska pompowego z pompą turbomolekularną.
Specyfikacja:
| Źródło nanoszonego materiału | Do czterech parowarek termicznych |
| Temperatura pracy parowarek | do 1600ºC |
| Objętość tygla | 5 cm3 |
| Kontrola grubości warstw | waga kwarcowa |
| Temperatura próbek | od temperatury pokojowej do 400°C |
| Czas uzyskiwania próżni |
10ˉ⁶ mbar w ciągu 2 godzin od zapowietrzenia komory |
| Układ pomp |
turbomolekularna o szybkości pompowania >200 l/s sucha pompa wstępna o szybkości pompowania nie mniejszej niż 5 m³/h |
Zobacz także inne systemy do nanoszenia warstw:
Kompaktowa napylarka LPNW01 do termicznego nanoszenia cienkich warstw
System nanoszenia powłok PVDS 700 do nanoszenia warstw techniką PVD
Kompaktowa napylarka MCS 787 wyposażona w do czterech źródeł magnetronowych
Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni umożliwiająca nanoszenie warstw metodą termiczną oraz rozpylania jonowego
W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.
