logo_head
Ue Efrr

Próbniki piezorezystywne

Detekcja wychyleń dźwigni

Zasada działania mikroskopu sił atomowych oparta jest na detekcji wychyleń dźwigni pomiarowej, związanych głównie z topografią próbki bądź oddziaływaniami pomiędzy atomami ostrza i próbki. W większości systemów AFM do rejestrowania zmian położenia dźwigni stosowany jest układ optyczny. Składa się on z lasera oraz fotodetektora. Z lasera emitowana jest wiązka, która pada na dźwignię pomiarową, a następnie, po odbiciu od dźwigni, trafia do detektora czterosegmentowego. Ugięcie dźwigni powoduje wychylenie padającej wiązki z położenia równowagi. Na podstawie porównania sygnałów z poszczególnych segmentów fotodetektora wyznaczana jest zmiana położenia wiązki. Rejestrowane w ten sposób ugięcia są przekształcane na mierzalny sygnał elektryczny.

Opisany powyżej tradycyjny układ rejestrujący oddziaływania ostrza pomiarowego z próbką wymaga czasochłonnego ustawiania położenia lasera, które dodatkowo musi być kontrolowane i często korygowane pomiędzy kolejnymi pomiarami. Poszukiwano zatem rozwiązania, które umożliwiłoby uniknięcie ograniczeń wynikających ze stosowania optycznej detekcji wychyleń. W systemach AFM firmy nano analytik układ optyczny okazuje się zbędny, gdyż zastosowano w nich aktywne próbniki piezorezystywne. Pozwala to znacząco ułatwić prowadzenie pomiaru, obniżyć koszt urządzenia, a także zmniejszyć jego rozmiar.

Piezorezystywny próbnik do pomiarów AFM

Próbniki piezorezystywne

Aktywne sondy posiadają zintegrowany z nimi siłownik termomechaniczny, utworzony z wielu cienkich warstw kompozytowych charakteryzujących się różnymi współczynnikami rozszerzalności temperaturowej. Zróżnicowane wydłużanie poszczególnych warstw umożliwia kontrolowane zginanie dźwigni. Siłownik ten umożliwia ponadto wzbudzenie dźwigni do jego częstotliwości rezonansowej.

Zjawisko piezorezystywne polega na zmianie rezystancji materiału w wyniku działania siły (naprężenia). Mostek Wheatstone’a pozwala na rejestrowanie nawet niewielkich zmian rezystancji. Zastosowanie próbników piezorezystywnych pozwala zatem na wykonywanie powtarzalnych pomiarów z rozdzielczością atomową. W systemach przystosowanych do tych próbników nie jest potrzebny układu optyczny, dlatego pomiar nie jest zależny od ograniczeń detekcji optycznej, czułości oraz podatny na zjawisko dyfrakcji.

 

Specyfiacja

Możliwe tryby pracy Aktywny / Pasywny
Aktywacja Zintegrowany siłownik napędzany termomechanicznie
Odczyt Piezorezystywny
Materiał Krzem
Wymiary

Szerokość: 120 μm (+/- 5 μm)

Długość: 350  μm (+/- 10 μm)

Grubość: możliwe 3-5 μm (+/- 1 μm)

Wysokość ostrza 4,5  μm w płaszczyźnie (+/- 10%)

Zachęcamy do zapoznania z ofertą systemów AFM firmy nano analytik.