logo_head
Ue Efrr

FR-pRo

To modułowe narzędzie, umożliwiające pomiary w zakresie charakterystyki cienkich warstw (grubości, właściwości optycznych, absorbancji, fluorescencji, odbicia). FR-pRo może zostać w pełni dostosowane do potrzeb klienta,  poprzez dobór elementów zestawu spośród licznych akcesoriów. Istnieje także możliwość wyboru zakresu spektralnego pracy narzędzia w prawie dowolnej części przedziału 200-2500 nm. 

Najważniejsze cechy urządzenia FR-pRo

  • przeznaczony do pomiaru grubości warstw w zakresie 1 nm-3 mm 
  • wyznaczanie właściwości optycznych cienkich warstw
  • modułowa budowa pozwala rozbudowanie urządzenia przy użyciu szerokiej gamy akcesoriów umożliwiając pełne dostosowanie do potrzeb użytkowania
  • możliwość wyboru spektralnego zakresu pracy urządzenia spośród wielu dostępnych opcji
  • w połączeniu z dodatkowym wyposażeniem umożliwia m.in. charakterystykę warstw w kontrolowanej temperaturze lub w środowisku ciekłym

Specyfikacja:

    Moduł ogniskujący

    Moduł optyczny przymocowany do sondy odbiciowej dla plamki o średnicy <100 μm

    Rozmiar plamki

    350 μm

    mniejszy rozmiar plamki na zamówienie

    Zestaw warstw/kuwet

    Pomiary transmisyjne błon lub cieczy w standardowych kuwetach

    Sonda kontaktowa

    Pomiar grubości i właściwości optycznych w polu; do pomiaru powierzchni zakrzywionych

    Mikroskop

    Pomiar reflektancji i grubości za pomocą mikroskopu

    Wysoka rozdzielczość pomiaru

    Skaner (zmotoryzowany)

    Automatyczny stolik polarny (R-Θ) lub kartezjański (X-Y) z uchwytem waflowym.

    Sfera integrująca Charakterystyka współczynnika odbicie lustrzanego i rozproszonego powłok i powierzchni
    Ręczny stolik XY

    Ręczny stolik X-Y do pomiarów na obszarze 100 mm x 100 mm lub 200 mm x 200 mm

    Moduł termiczny

    Sterowana komputerowo Płyta grzejna osadzona w urządzeniu FR
    ogrzewanie: temperatura pokojowa-200
    °C, co 0.1°C

    Komputer

    Laptop/PC z panelem dotykowym z 19-calowym ekranem

    Baza danych

    Ponad 650 różnych materiałów

    Dostępne konfiguracje
    Zakresy spektralne UV/Vis (200-850 nm)
    UV/NIR -EXT (200-1020 nm)
    UV/NIR-HR (200-1100 nm)
    D UV/NIR (200-1700 nm)
    VIS/NIR (370-1020 nm)
    D Vis/NIR (370-1700 nm)
    NIR (900-1700 nm)
    NIR-980 (900-1050 nm)
    NIR-1310 (1280-1350 nm)
    NIR-1550 (1510-1560 nm)
    Specyfikacja dla poszczególnych zakresów spektralnych:
     
    Model UV/Vis UV/NIR -EXT UV/NIR-HR D UV/NIR VIS/NIR D Vis/NIR NIR NIR-980 NIR-1310 NIR-1550
    Zakres [nm] 200-850 200-1020 200-1100 200-1700 370-1020 370-1700 900-1700 900-1050 1280-1350 1510-1560
    Piksele 3648 3648 3648 3648 i 512 3648 3648 i 512 512 3648 512 512
    Zakres grubości (Sio2)

    1 nm-80

    μm

    3 nm-90

    μm

    1 nm-120

    μm

    1 nm-250

    μm

    12 nm-100

    μm

    12 nm-250

    μm

    50 nm-250

    μm

    1 μm- 1,2 mm 12 μm- 2 mm 20 μm- 3 mm
    Zakres grubości (Si) 500 μm (max) 1 mm (max) 1,3 mm (max)
    Grubość minimalna dla pomiaru parametrów n i k 50 nm 50 nm 50 nm 50 nm 100 nm 100 nm 500 nm
    Dokładność 1 nm / 0,2% 1 nm / 0,2% 1 nm / 0,2% 1 nm / 0,2% 1 nm / 0,2% 2 nm / 0,2% 3 nm / lub 0,4% 50 nm/ lub 0,2% 50 nm lub 0,2% 50 nm lub 0,2%
    Precyzja 0,02 nm 0,02 nm 0,02 nm 0,02 nm 0,02 nm 0,02 nm 0,1 nm 5 nm 5 nm 5 nm
    Stabilność 0,05 nm 0,05 nm 0,05 nm 0,05 nm 0,05 nm 0,05 nm 0,15 nm 5 nm 5 nm 5 nm
    Źródło światła Deuterowo-halogenowe 2000h Deuterowo-halogenowe 2000h Deuterowo-halogenowe 2000h Deuterowo-halogenowe 2000h Halogenowe 10000 h Halogenowe 10000 h Halogenowe 10000 h Halogenowe 10000 h SLED
    200000h
    SLED
    200000h

        W ofercie znajdują się również inne urządzenia z serii FR, w tym przenośny FR-pOrtable, czy też zoptymalizowany pod kątem skanowania dużej powierzchni FR-Scanner. Zachęcamy do zapoznania się z szeroką gamą produktów serii FR firmy Thetametrisis.