Parowarka do termicznego nanoszenia warstw
Urządzenie pozwalające na termiczne nanoszenie powłok PVD (technika fizycznego osadzania z fazy gazowej) podczas parowania różnych substancji w temperaturach aż do 1300°C. Parowarki są wykonywane w standardzie UHV, są zatem przeznaczone do bezpośredniego montażu w komorze nanoszenia.
Najważniejsze cechy parowarek umożliwiających termiczne nanoszenie powłok PVD
- przeznaczone do nanoszenia cienkich warstw techniką PVD (fizycznego osadzania z fazy gazowej)
- standardowe wyposażenie parowarki: część próżniowa zabudowana na kołnierzy DN63CF i wyposażona w osłonę termiczną chłodzoną wodą, doprowadzenia wodne, ręcznie sterowane przesłony, termopara do pomiaru temperatury w otoczeniu tygla, chłodzonych wodą elektrod doprowadzających zasilanie do filamentu
-
może pracować w trybie kontroli prądu zasilającego filament lub stabilizacji temperatury w obszarze filamentu
- przystosowanie do wielkokrotnego nanoszenia po jednokrotnym załadowaniu tygla w celu zapewnienia uzyskiwania czystych warstw bez domieszek np. tlenków nanoszonego metalu.
Specyfikacja:
| Temperatura parowania | Do 1300°C |
| Parametry pracy termoregulatora: | |
| Stabilizacja temperatury w zakresie 0-400°C | Rozdzielczość: 0,1°C |
| Stabilizacja temperatury w zakresie 0-1300°C | Rozdzielczość: 1°C |
| Zasilacz prądowy | Praca w zakresie prądu 0-40 A Napięcie do 15 V |
Zobacz także nasze systemy do nanoszenia cienkich warstw, w tym kompaktową napylarkę. Zastosowano w niej dwie niezależne parowarki do termicznego nanoszenia powłok PVD, umożliwiając w ten sposób równoległa nanoszenie dwóch różnych związków. Ponadto urządzenie to jest wyposażone w transfer liniowy do przenoszenia próbek pomiędzy komorą nanoszenia a komorą rękawicową. W ten sposób próbka jest zabezpieczona przez zanieczyszczeniem i utlenieniem.
W ofercie posiadamy również źródła magnetronowe umożliwiające jonowe rozpylanie materiału targetu w celu naniesienia cienkich metalicznych i niemetalicznych warstw. Zapraszamy również do zapoznania się z systemem do magnetronowego nanoszenia warstw. Ponadto oferujemy napylarkę łączącą w sobie termiczne i magnetronowe metody nanoszenia warstw.
