Napylarka próżniowa LPNW01
Stołowa napylarka próżniowa do metalizacji powierzchni. Wyposażona jest w kontenerek do przenoszenia próbek w warunkach kontrolowanej atmosfery pomiędzy komorą nanoszenia a komorą rękawicową. Urządzenie umożliwia termiczne nanoszenie powłok techniką PVD (fizycznego osadzania z fazy gazowej) w wyniku parowania lub sublimacji osadzanej substancji. Oferowane urządzenie charakteryzuje się kompaktową budową dzięki czemu może być eksploatowane zarówno w dużych jak i mniejszych laboratoriach.
Najważniejsze cechy napylarki próżniowej:
- Przeznaczone do nanoszenia cienkich warstw metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD)
- Komora nanoszenia umożliwiająca podłączenie dwóch tygli (źródeł) i dwóch niezależnych przesłon dostosowanych do tygli, dzięki czemu możliwe jest całkowite zasłonięcie każdego tygla niezależnie
- Dwa niezależne źródła umożliwiają parowanie następujących związków: Au, Cr, Al, Ag, LiF, Ca.
- Możliwość zastosowania komory załadowczej z transferem liniowym
- Dostosowana do kontenerka umożliwiającego transfer próbki do komory rękawicowej w atmosferze gazu ochronnego, przez co możliwe jest przeniesienie próbki bez kontaktu z otoczeniem zewnętrznym. Układ ten pozwala to zatem uniknąć zanieczyszczenia lub niepożądanego utlenienia próbki.
- Uzyskiwanie próżni na poziomie poniżej 10ˉ⁷
Specyfikacja:
| Technika nanoszenia warstw | Termiczna (sublimacja lub parowanie pod wpływem temperatury) |
| Liczba źródeł | 2 niezależne |
| Nanoszone związki | Au, Cr, Al, Ag, LiF, Ca. |
| Temperatura nanoszenia | temperatura sublimacji lub parowania w zakresie do 1500°C |
| Umieszczanie próbki |
Komora załadowcza Dostosowanie do kontenerka do przenoszenia próbki w atmosferze gazu ochronnego np. do i z komory rękawicowej |
| Szybkość pompowania | 50 l/s |
| Uzyskiwane ciśnienie |
10ˉ⁷ mbar w 120 minut Przy zastosowaniu komory załadowczej i wstępnym odpompowaniu komory czas uzyskiwania ciśnienie na poziomie 10ˉ⁷ wynosi poniżej 15 minut. |
| Rozmiar podłoży |
75×75 mm Możliwość zastosowania stalowej maski pozwalającej na użycie podłoży o mniejszym rozmiarze |
| Kontrola nanoszonych warstw | Waga kwarcowa |
Zobacz także inne systemy do wytwarzania warstw:
Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni z możliwością termicznego i magnetronowego nanoszenia warstw
System nanoszenia powłok PVDS 700 do nanoszenia warstw techniką PVD
Kompaktowa napylarka MCS 787 wyposażona w do czterech źródeł magnetronowych
W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.
