Mikroskopy sił atomowych z próbnikami piezorezystywnymi
Mikroskopy Sił Atomowych wyróżniają się zastosowaniem piezorezystywnych (tzw. aktywnych) próbników. Umożliwiają one precyzyjną kontrolę wychyleń dźwigni nie wymagając zastosowania układu optycznego śledzącego przemieszczanie się lasera. Brak układu optycznego znacząco ułatwia pomiar, a ustawienia nie wymagają korygowania pomiędzy kolejnymi skanowaniami. Oferowane mikroskopy są produkowane przez firmę Nano analytik GmbH.
Zalety:
-łatwość pomiaru
-duża stabilność pracy
-wysoki poziom automatyzacji pomiaru
-mały rozmiar urządzenia
Oferowane systemy umożliwiają:
-obrazowanie powierzchni
-pomiar właściwości mechanicznych
-pełną integrację ze skaningowym mikroskopem elektronowym
-wykrywanie chemicznych i biologicznych substancji
-precyzyjną i nieniszczącą litografię
Próbniki piezorezystywne
Aktywne próbniki umożliwiające pomiary AFM, którego wzbudzanie jest kontrolowane za pomocą siłownika termomechanicznego, natomiast wychylenia są rejestrowane przez piezorezystywny mostek Wheatstone’a.
Scanning Probe Lithography (SPL)
Multi-Plattform UHV System (AFM-MPS)
kombinacja technik AFM z AES i XPS do kompleksowej analizy powierzchni