Komory, wyposażenie i komponenty próżniowe
Oferujemy produkowane w Polsce przez firmę MeasLine komory próżniowe i elementy przeznaczone do pracy w systemach próżniowych, w tym magnetrony, parowarki, transfer obrotowy oraz akcesoria przeznaczone do zastosowań w próżni.
Komory próżniowe
Dostosowane do wymagań klienta komory próżniowe dostosowane do pracy w wysokiej i ultrawysokiej próżni. W zależności od przeznaczenia komory mogą charakteryzować się różnym rozmiarem, grubością ścian oraz wielkością i liczbą portów. Komory produkowane są w Polsce przez firmę MeasLine.
Magnetrony
Magnetrony umożliwiające nanoszenie warstw z targetów metalicznych (przewodzących) oraz ceramicznych m.in. tlenkowych. Są wyposażone w zawory doprowadzające gaz roboczy. Mogą być dostosowane go targetów 1″ lub 2″.
Parowarki
Urządzenia przeznaczone do nanoszenia monowarstw oraz wielowarstw w oparciu o parowanie przez bombardowanie elektronowe ze źródła w postaci drutu, pręta lub z tygla w szerokim zakresie temperatur.
Transfery ze sprzężeniem magnetycznym
Moduły przeznaczone do transferu próbki np. pomiędzy komorą załadowczą a komorami badawczymi, komorami nanoszenia warstw, w warunkach próżni w celu uniknięcia wpływu atmosfery na próbkę oraz konieczności zapowietrzania komór każdorazowo podczas wymiany próbki.
Dostępne są liniowe oraz obrotowe transfery ze sprzężeniem magnetycznym.
Stacja wygrzewania i obrotu próbek
Stacja wygrzewania i obrotu próbek dostosowana do nośnika próbek o umożliwiającego zamocowanie próbki o maksymalnych rozmiarach 50×50 mm. Stacja wyposażona jest w przysłonę główną sterowaną ręcznie. Obrót nośnika próbek zrealizowany jest za pomocą odpowiedniego silnika. Uchwyt umożliwia umieszczanie w nim próbki za pomocą transferu liniowego.
Nośnik do próbników
Nośnik do próbników do AFM umożliwiający jednoczesne nanoszenia cienkich warstw na 10 próbników. Nośnik jest dostosowany do stacji wygrzewania i obrotu próbek. Obracanie nośnika zapewnia powstawanie jednorodnych warstw na próbnikach. Nośnik może być przesuwany z i do komory załadowczej za pomocą transferu liniowego.
Zawór motylkowy
Przeznaczony m.in. do systemów wyposażonych w magnetrony. Rozpylanie materiału prowadzone jest w atmosferze gazu roboczego, który wpływa na znaczne podniesienie ciśnienia wewnątrz komory. Takie ciśnienie ma niekorzystny wpływ na pracę pompy turbo. Ponadto dostarczany gaz roboczy jest szybko usuwany z wnętrza komory co powoduje duże zużycie gazu. Zastosowanie zaworu motylkowego na wylocie pompy umożliwia pracę pompy bez ryzyka jej uszkodzenia oraz zmniejszenie ilości gazu roboczego usuwanego podczas pompowania. Zawór ułatwia regulację ciśnienia wewnątrz komory.
Zawór może być zmotoryzowany. Istnieje możliwość wyłączenia silnika i ręczna regulacja zaworu.
Elementy do systemów próżniowych
- Kołnierze typu CF,KF, ISO-K
- Reduktory złącz CF,KF, ISO-K
- Uszczelki do złącz CF,KF, ISO-K
- Rury, złącza, kolana, trójniki, czwórniki CF,KF, ISO-K
- Mieszki i węże CF,KF, ISO-K
- Redukcje i adaptery CF,KF, ISO-K
- Przepusty elektryczne i gazowe
