logo_head
Ue Efrr
Parowarka termiczna umożliwiająca nanoszenie powłok PVD (cienkich warstw)

Parowarka do termicznego nanoszenia warstw

Urządzenie pozwalające na termiczne nanoszenie powłok PVD (technika fizycznego osadzania z fazy gazowej) podczas parowania różnych substancji w temperaturach aż do 1300°C.  Parowarki są wykonywane w standardzie UHV, są zatem przeznaczone do bezpośredniego montażu w komorze nanoszenia.  

Najważniejsze cechy parowarek umożliwiających termiczne nanoszenie powłok PVD

  • przeznaczone do nanoszenia cienkich warstw techniką PVD (fizycznego osadzania z fazy gazowej)
  • standardowe wyposażenie parowarki: część próżniowa zabudowana na kołnierzy DN63CF i wyposażona w osłonę termiczną chłodzoną wodą, doprowadzenia wodne, ręcznie sterowane przesłony, termopara do pomiaru temperatury w otoczeniu tygla, chłodzonych wodą elektrod doprowadzających zasilanie do filamentu
  • może pracować w trybie kontroli prądu zasilającego filament lub stabilizacji temperatury w obszarze filamentu

  • przystosowanie do wielkokrotnego nanoszenia po jednokrotnym załadowaniu tygla w celu zapewnienia uzyskiwania czystych warstw bez domieszek np. tlenków nanoszonego metalu.

Specyfikacja:

Temperatura parowania Do 1300°C
Parametry pracy termoregulatora:
Stabilizacja temperatury w zakresie 0-400°C Rozdzielczość: 0,1°C
Stabilizacja temperatury w zakresie 0-1300°C Rozdzielczość: 1°C
Zasilacz prądowy Praca w zakresie prądu 0-40 A
Napięcie do 15 V

Zobacz także nasze systemy do nanoszenia cienkich warstw, w tym kompaktową napylarkę. Zastosowano w niej dwie niezależne parowarki do termicznego nanoszenia powłok PVD, umożliwiając w ten sposób równoległa nanoszenie dwóch różnych związków. Ponadto urządzenie to jest wyposażone w transfer liniowy do przenoszenia próbek pomiędzy komorą nanoszenia a komorą rękawicową. W ten sposób próbka jest zabezpieczona przez zanieczyszczeniem i utlenieniem.

W ofercie posiadamy również źródła magnetronowe umożliwiające jonowe rozpylanie materiału targetu w celu naniesienia cienkich metalicznych i niemetalicznych warstw. Zapraszamy również do zapoznania się z systemem do magnetronowego nanoszenia warstw. Ponadto oferujemy napylarkę łączącą w sobie termiczne i magnetronowe metody nanoszenia warstw.