Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni
Zbudowana z trzech komór kompaktowa napylarka próżniowa do metalizacji powierzchni umożliwia nanoszenie warstw metodą termiczną oraz rozpylania jonowego. Urządzenie wyposażone w kontenerek do przenoszenia próbek w warunkach kontrolowanej atmosfery pomiędzy napylarką a komorą rękawicową lub przechowywania w warunkach kontrolowanej atmosfery.
Najważniejsze cechy urządzenia:
- Przeznaczone do nanoszenia warstw techniką fizycznego osadzania z fazy gazowej PVD
- Komora załadowcza próbek służąca do wprowadzania i wyprowadzania próbek do komory nanoszenia w osłonie gazu ochronnego
- Próbka załadowana do kontenerka np. w komorze rękawicowej w atmosferze gazu ochronnego może zostać przeniesiona do komory napylarki w ściśle kontrolowanych warunkach
- Komora termicznego nanoszenia warstw zawierająca 1-3 parowarek termicznych
- Komora nanoszenia warstw metodą rozpylania jonowego wyposażona w magnetron
- Komory wykonane w standardzie HV
- Analiza grubości nanoszonych warstw z rozdzielczością sub nm za pomocą wagi kwarcowej
- Uchwyt próbek dostosowany do podłoży o maksymalnych wymiarach 50×50. Do mniejszych podłoży można zastosować maski wycinane z blach stalowych o grubości od 0,1 mm do 0,5 mm. Maski mogą zapewniać stabilizację położenia mniejszych podłoży w trakcie transferu jak i obrotu. Układ otworów w masce może być dostosowany do podłoży
Specyfikacja:
| Komora załadowcza | |
| Odpompowanie komory | za pomocą suchej pompy poniżej 0,1 mbar w ciągu 5 minut |
| Pomiar próżni |
za pomocą głowicy typu Pirani zintegrowanej z głowicą membranową w zakresie od 1∙10ˉ³ mbar do ciśnienia atmosferycznego |
| Komora nanoszenia termicznego | |
| Źródło nanoszenia termicznego |
tygle w kształcie koszyczka z osłonami termicznymi i przesłonami, z możliwością pomiaru i stabilizacji temperatury filamentu tygiel wolframowy w kształcie łódki z przesłoną |
| Zasilanie tygla wolframowego | do 200 A |
| Zapewnienie jednorodności warstw |
zastosowanie stolika obrotowego |
| Temperatura próbek w czasie nanoszenia | stabilizowana w w zakresie od temperatury pokojowej do 400°C |
| System pomp |
turbomolekularny o szybkości pompowania nie mniejszej niż 60l/s |
| Pomiar próżni |
za pomocą głowicy jonizacyjnej z gorącą katodą. |
| Komora rozpylania jonowego | |
| Źródło rozpylania jonowego | magnetron 2″ Istnieje możliwość wymiany magnetronu na 1″ |
| Zasilacz magnetronu |
DC 600W |
| Zawór dozowania gazów | ręczny |
| Zapewnienie jednorodności warstw |
zastosowanie stolika obrotowego |
| Temperatura próbek w czasie nanoszenia | stabilizowana w w zakresie od temperatury pokojowej do 400°C |
| Pomiar próżni |
za pomocą głowicy typu Pirani zintegrowanej z głowicą membranową w zakresie od 1∙10ˉ³ mbar do ciśnienia atmosferycznego |
Zobacz także inne systemy do nanoszenia warstw:
Kompaktowa napylarka LPNW01 do termicznego nanoszenia cienkich warstw
System nanoszenia powłok PVDS 700 do nanoszenia warstw techniką PVD
Kompaktowa napylarka MCS 787 wyposażona w do czterech źródeł magnetronowych
W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.
