System nanoszenia z napylarkami termicznymi i magnetronami
Układ 3 komór próżniowych zintegrowanych w jeden system próżniowy jest przeznaczony do nanoszenia cienkich warstw materiałów metalicznych, ceramicznych i organicznych za pomocą parowarek termicznych oraz źródeł magnetronowych. System jest wyposażony w komorę załadowczą oraz dwie prostopadłościenne komory nanoszenia. Transfery liniowo-obrotowe umożliwiają transferowanie nośników próbek pomiędzy komorami.
System został wykonany w standardzie UHV. W związku z zastosowaną konfiguracją systemu komora nanoszenia termicznego umożliwia montaż do czterech parowarek termicznych. Z kolei w komorze nanoszenia magnetronowego możliwe jest zamontowanie do czterech źródeł magnetronowych.
Jednorodność nanoszonych warstw jest zapewniona poprzez zastosowanie stolików obrotowych o ciągłym obrocie nośnika próbek w trakcie parowania. Ponadto stolik jest przystosowany do ogrzewania próbki i stabilizowania temperatury w zakresie od temperatury pokojowej do 400ºC. Dodatkowo stacja wygrzewania i obrotu próbki została wyposażona w przesłonę próbki.
Nośnik wraz z próbkami jest przenoszony z komory załadowczej do komory termicznego nanoszenia warstw lub komory magnetronowej za pomocą transferu liniowego, przez co próżnia w komorze nanoszenia warstw nie ulega znacznym zmianom w trakcie transferowania próbek. Po zamocowaniu nośnika próbek w uchwycie komory załadowczej komora ta może zostać odpompowana do wymaganego poziomu próżni. Po uzyskaniu odpowiedniego ciśnienia możliwe jest otwarcie zaworu rozdzielającego komorę załadowczą i komorę nanoszenia warstw.
Komory nanoszenia są przystosowane do montażu nośnika umożliwiającego zamontowanie próbek o rozmiarze maksymalnym 50×50 mm. Jednoczenie zastosowanie odpowiedniej maski pozwala na zamontowanie większej liczby próbek o mniejszych wymiarach.
Praca systemu, w tym kontrola poziomu ciśnienia, pracy układu pompowania, przesłony oraz procesy nanoszenia warstw jest obsługiwana automatycznie z poziomu dedykowanego oprogramowania.
Najważniejsze cechy urządzenia:
- Komory termicznego i magnetronowego nanoszenia warstw wykonane w standardzie UHV
- umożliwia zamocowanie do czterech parowarek termicznych i do czterech źródeł magnetronowych
- Komora załadowcza do wprowadzania próbek pod ciśnieniem atmosferycznym lub za pomocą kontenerka
- Transfer liniowy do transportu próbek z komory załadowczej do komór nanoszenia warstw
- Kontrola grubości warstw za pomocą wag kwarcowych
- Możliwość wygrzewania próbek do 400ºC
- Stacja mocowania próbek zapewnia możliwość ciągłego obrotu podczas procesu nanoszenia
- Ciśnienie w komorze termicznej poniżej 10-6 mbar uzyskiwane jest po zapowietrzeniu komory suchym powietrzem lub azotem w ciągu 2 godzin przy użyciu pompy turbomolekularnej o szybkości pompowania nie mniejszej niż 200l/s. Ciśnienie bazowe po wygrzaniu komory do
120ºC przez 48 godzin <10-9 mbara.
- Komora załadowcza może być pompowana za pomocą pompy suchej do próżni poniżej 5•10-2 mbar lub stanowiska pompowego z pompą turbomolekularną.
Specyfikacja:
| Źródło nanoszonego materiału |
Do czterech parowarek termicznych Do czterech źródeł magnetronowych |
| Temperatura pracy parowarek | do 1600ºC |
| Objętość tygla | 5 cm3 |
| Kontrola grubości warstw | waga kwarcowa |
| Temperatura próbek | od temperatury pokojowej do 400°C |
| Czas uzyskiwania próżni |
10ˉ⁶ mbar w ciągu 2 godzin od zapowietrzenia komory |
| Układ pomp |
turbomolekularna o szybkości pompowania >200 l/s sucha pompa wstępna o szybkości pompowania nie mniejszej niż 5 m³/h |
Kompaktowa napylarka LPNW01 do termicznego nanoszenia cienkich warstw
System nanoszenia powłok PVDS 700 do nanoszenia warstw techniką PVD
Kompaktowa napylarka MCS 787 wyposażona w do czterech źródeł magnetronowych
Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni umożliwiająca nanoszenie warstw metodą termiczną oraz rozpylania jonowego
Napylarka dedykowana do nanoszenia warstw na tipy TERS przystosowana do zamocowania do czterech parowarek termicznych
W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.
