Nanoszenie cienkich warstw
Oferujemy różnorodne systemy umożliwiające nanoszenie cienkich warstw poprzez fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD, ang. physical vapour deposition) oparte m.in. o techniki rozpylania magnetronowego, metody termiczne czy też układy wykorzystujące kombinację litografii oraz techniki AFM, umożliwiające tworzenie struktur z rozdzielczością atomową.
Wszystkie systemy do wytwarzania cienkich warstw znajdujące się w ofercie mogą zostać dostosowane do wymagań klienta. Cena tych urządzeń jest zależna od stopnia rozbudowania systemu.
W celu wyboru urządzenia do charakterystyki nanoszonych warstw, w tym do pomiaru grubości powłok w zakresie od nanometrów do mikrmetrów, zapraszamy do zapoznania z ofertą firmy Thetametrisis, dostępną na naszej stronie.
Systemy próżniowe do nanoszenia cienkich warstw
Kompaktowa napylarka LPNW01
Kompaktowa stołowa napylarka do metalizacji powierzchni z kontenerkiem do przenoszenia próbek w warunkach kontrolowanej atmosfery pomiędzy napylarką a komorą rękawicową
Kompaktowa napylarka MCS 787
System do metalizacji powierzchni próbek lub nanoszenia cienkich warstw niemetalicznych metodą rozpylania jonowego za pomocą do czterech źródeł magnetronowych. Urządzenie wyposażone jest w transfer liniowy.
Kompaktowa napylarka do metalizacji powierzchni
Urządzenie pozwalające na nanoszenie cienkich warstw metodą termiczną i magnetronową, wyposażone w komorę załadowczą.
System nanoszenia powłok PVDS 700
System nanoszenia powłok techniką PVD oparty na termicznej metodzie naparowywania cienkowarstwowego
Napylarka do metalizacji powierzchni z komorą załadowczą
Urządzenie wykonane w standardzie UHV, umożliwiające zamocowanie do czterech parowarek termicznych z otwieranym oknem próżniowym pozwalającym na dodawanie materiału do parowarek. Komora załadowcza służy do wprowadzania i wyprowadzania próbek pod ciśnieniem atmosferycznym za pomocą transferu liniowego.
Technika implantacji pojedynczego atomu
Multi-Plattform UHV System (AFM-MPS)
kombinacja technik AFM z AES i XPS do kompleksowej analizy powierzchni oraz magnetronowego i litograficznego nanoszenie warstw i obiektów.
Wyposażenie systemów do nanoszenia cienkich warstw
Magnetrony
Magnetrony umożliwiające nanoszenie warstw metodą PVD z targetów metalicznych (przewodzących) oraz ceramicznych m.in. tlenkowych. Są wyposażone w zawory doprowadzające gaz roboczy. Mogą być dostosowane go targetów 1″, 2″,3″ lub 4″.
Parowarki
Urządzenia przeznaczone do nanoszenia monowarstw oraz wielowarstw techniką PVD w oparciu o parowanie przez bombardowanie elektronowe ze źródła w postaci drutu, pręta lub z tygla w szerokim zakresie temperatur.
Transfery ze sprzężeniem magnetycznym
Moduły przeznaczone do transferu próbki np. pomiędzy komorą załadowczą a komorami badawczymi, komorami nanoszenia warstw, w warunkach próżni w celu uniknięcia wpływu atmosfery na próbkę oraz konieczności zapowietrzania komór każdorazowo podczas wymiany próbki.
Dostępne są liniowe oraz obrotowe transfery ze sprzężeniem magnetycznym.
Stacja wygrzewania i obrotu próbek
Stacja wygrzewania i obrotu próbek dostosowana do nośnika próbek o umożliwiającego zamocowanie próbki o maksymalnych rozmiarach 50×50 mm. Stacja wyposażona jest w przysłonę główną sterowaną ręcznie. Obrót nośnika próbek zrealizowany jest za pomocą odpowiedniego silnika. Uchwyt umożliwia umieszczanie w nim nośnika z próbkami za pomocą transferu liniowego.
Nośnik do próbników
Nośnik do próbników do AFM umożliwiający jednoczesne nanoszenia cienkich warstw na 10 próbników. Nośnik jest dostosowany do stacji wygrzewania i obrotu próbek. Obracanie nośnika zapewnia powstawanie jednorodnych warstw na próbnikach. Nośnik może być przesuwany z i do komory załadowczej za pomocą transferu liniowego.
Zawór motylkowy
Przeznaczony m.in. do systemów wyposażonych w magnetrony. Rozpylanie materiału prowadzone jest w atmosferze gazu roboczego, który wpływa na znaczne podniesienie ciśnienia wewnątrz komory. Takie ciśnienie ma niekorzystny wpływ na pracę pompy turbo. Ponadto dostarczany gaz roboczy jest szybko usuwany z wnętrza komory co powoduje duże zużycie gazu. Zastosowanie zaworu motylkowego na wylocie pompy umożliwia pracę pompy bez ryzyka jej uszkodzenia oraz zmniejszenie ilości gazu roboczego usuwanego podczas pompowania.
Zawór może być zmotoryzowany. Istnieje możliwość wyłączenia silnika i ręczna regulacja zaworu.
